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J-GLOBAL ID：201002231209560202   整理番号：10A0660582

スパッタ法で作製した酸化チタン薄膜の微細構造における熱処理効果と水素検出特性

Annealing Effect on the Nanostructure of TiO₂ Sputtered Film and H₂ Sensing Property

著者 (3件)： 長田康彦 (富山大学大学院理工学研究部) ,  山崎登志成 (富山大学大学院理工学研究部) ,  喜久田寿郎 (富山大学大学院理工学研究部)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 53  号： 5  ページ： 353-356 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： TiO₂膜を,種々の放電ガス圧においてDCマグネトロンスパッタリングにより作製し,種々の温度下でアニールした。多孔性に焦点を当てて膜の構造を調べた。さらに,空気雰囲気中,種々の動作温度において膜の水素センサー特性を評価した。堆積中の圧が増大すると,柱状粒間の細孔が増殖する。12Paで堆積させた最も多孔性の強い膜では,柱状粒の側壁の多くは露出している。低圧堆積した稠密膜では,200°C以上の動作温度においてのみ感度を示した。多孔性の増大に伴い,感度を有する温度が減少する。500°Cでアニールした多孔性膜は100°Cのような低い温度においても高い感度を示した。このような低い温度でのセンサーの動作は,消費電力の低減という観点から重要である。熱処理温度を下げてより多孔質化することで更に低い温度での高感度化を目指したが,素子が低抵抗化して感度向上は見られなかった。

シソーラス用語： *スパッタ蒸着 ,  *酸化チタン ,  *蒸着膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  熱処理 ,  *ガスセンサ ,  圧力効果 ,  *多孔性 ,  温度依存性
準シソーラス用語： *水素センサ

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  分析機器  (CC02020S)

引用文献 (15件)：

• 1) T. Yamazaki, C. Jin, A. Nakayama, K. Ito, T. Yoshizawa, T. Kikuta, N. Nakatani and T. Yamabuchi: Jpn. J. Appl. Phys., 44 (2005) 792.
• 2) T. Yamazaki, T. Furuta, Y. Shen, C. Jin, T. Kikuta and N. Nakatani: Jpn. J. Appl. Phys., 45 (2006) 9180.
• 3) Y. Shen, T. Yamazaki, Z. Liu, C. Jin, T. Kikuta and N. Nakatani: Thin Solid Films, 516 (2008) 5111.
• 4) T. Yamazaki, H. Okumura, C. Jin, A. Nakayama, T. Kikuta and N. Nakatani: Vacuum, 77 (2005) 237.
• 5) Y. Jun, H. Kim, J. Lee and S. Hong: Sens. Actuator B, 120 (2006) 69.

タイトルに関連する用語 (6件)： スパッタ法 ,  作製 ,  酸化チタン薄膜 ,  微細構造 ,  熱処理 ,  水素