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J-GLOBAL ID：201002273642823611   整理番号：10A0491162

太陽電池に応用するバイオテンプレートと欠陥がない中性ビームエッチングによって作製した新しいSiナノディスク

Novel Si Nanodisk Fabricated by Biotemplate and Defect-Free Neutral Beam Etching for Solar Cell Application

著者 (13件)： HUANG Chi-Hsien (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HUANG Chi-Hsien (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  IGARASHI Makoto (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  IGARASHI Makoto (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  HORITA Susumu (Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  TAKEGUCHI Masaki (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  URAOKA Yukiharu (Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN) ,  FUYUKI Takashi (Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN) ,  YAMASHITA Ichiro (Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN) ,  YAMASHITA Ichiro (Panasonic Corp., Kyoto, JPN) ,  YAMASHITA Ichiro (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  SAMUKAWA Seiji (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SAMUKAWA Seiji (JST-CREST, Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 4,Issue 2  ページ： 04DL16.1-04DL16.5  発行年： 2010年04月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 我々は既に,一様なシリコン系2次元量子ドット超格子(2D QDSL)(すなわち,Siナノディスクの2D配列)を,高密度のナノディスク(ND)があり,制御可能なサイズとND間の間隔のx-y面上に開発している。第3次元(z軸)にもっとナノディスクを集積するため,薄膜蒸着,バイオテンプレート,及び先進の新しいエッチングを使って,新しい積層ナノディスク(S-ND)を開発した。S-ND構造は,トンネル接合(TJ)を結合して垂直に連結した2個のNDから成る。走査型透過型電子顕微鏡像はこの積層構造を明瞭に示している。S-NDの量子閉込めは室温でCoulomb階段を観測して確かめた。トンネリング流はTJ厚を変化させて制御できた。ND厚を単に変化させるだけで,バンドギャップエネルギー(E_g)は制御できた。量子効果とE_gに関するこれら特性はQDSL太陽電池において重要な役割を果たす。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 太陽電池 ,  型 ,  *ナノ構造 ,  ケイ素 ,  エッチング ,  *トンネル接合 ,  透過型電子顕微鏡 ,  量子閉込め ,  単一電子トンネル効果 ,  トンネル効果 ,  *バンドギャップ ,  電流電圧特性 ,  光吸収スペクトル
準シソーラス用語： Coulomb階段 ,  テンプレート【型】 ,  *ナノディスク

分類 (1件)： 13-15族化合物を含まない半導体-半導体接合  (BM03083P)

引用文献 (13件)：

• W. Shockley and H. J. Queisser: J. Appl. Phys.32(1961)510.
• Y. Kurokawa, S. Miyajima, A. Yamada, and M. Konagi: Jpn. J. Appl. Phys.45(2006) L1064.
• H. Colder, P. Marie, and F. Gourbilleau: Thin Solid Films 516(2008)6930.
• E. C. Cho, S. Park, X. Hao, D. Song, G. Conibeer, S. C. Park, and M. A. Green: Nanotechnology.19(2008)245201.
• G. Conibeer, M. Green, E. C. Cho, D. König, Y. H. Cho, T. Fangsuwannarak, G. Scardera, E. Pink, Y. Huang, T. Puzzer, S. Huang, D. Song, C. Flynn, S. Park, X. Hao, and D. Mansfield: Thin Solid Films 516(2008)6748.

タイトルに関連する用語 (9件)： 太陽電池 ,  応用 ,  バイオテンプレート ,  欠陥 ,  中性ビーム ,  エッチング ,  作製 ,  Si ,  ナノディスク