特許
J-GLOBAL ID：201003000520523878
パターン検証方法、検証装置及びプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-063322
公開番号（公開出願番号）：特開2010-217428
出願日： 2009年03月16日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：
【課題】エラーを有すると判断されたパターンのグルーピング率を大幅に向上させ、簡易で正確且つ迅速なパターン検証を行い、信頼性の高いリソグラフィーを行う。【解決手段】リソ・シミュレータによりエラーを有するコンター図形(以下、エラーコンター図形と言う。)を検出した後、エラーコンター図形をグルーピングする際に、当該エラーコンター図形の設計原図パターンの基本図形を抽出し、エラーコンター図形を基本図形のカテゴリーごとにまとめて分類し、基本図形ごとに分類されたエラーコンター図形を、対応する基本図形の所定部位を原点として同一原点で重ね合わせ、当該基本図形を判定基準として各エラーコンター図形の良否を判定する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
複数の設計原図パターンを補正して、複数の第1のデータを作成する工程と、
前記複数の第1のデータについて光強度シミュレーションを行った複数のシミュレーション結果図形の許容の可否を判定し、前記複数のシミュレーション結果図形のうち許容されないと判定された複数のシミュレーション結果図形を複数の第2のデータとして認識する工程と、
前記複数の第2のデータのそれぞれに対応する前記複数の設計原図パターンの基本図形を抽出する工程と、
前記複数の第2のデータを前記基本図形ごとに分類する工程と
を含むことを特徴とするパターン検証方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/08 A
, H01L21/30 502P
2H095BA01
, 2H095BB01
, 2H095BB02
