特許
J-GLOBAL ID：201003003378678485
基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 俊夫
, 三井田 友昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-129499
公開番号（公開出願番号）：特開2010-278249
出願日： 2009年05月28日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：
【課題】キャリアから処理ブロックに基板を搬送する搬送手段を備えた基板処理装置において、前記搬送手段の搬送工程数の上昇を抑えてスループットを向上させることができる基板処理装置を提供すること。【解決手段】処理ブロックに基板を搬入するための第1の受け渡しモジュールに基板を搬送できるときにはバッファモジュールを介さずにキャリアから第1の受け渡しモジュールへ基板を前記搬送順で搬送し、前記キャリアから基板をその第1の受け渡しモジュールに搬送できないときに、前記搬送順とは逆順でキャリアからバッファモジュールに基板を搬送し、前記バッファモジュールに搬送された基板を、その基板に先行して前記第1の受け渡しモジュールに搬送されるように設定された基板が全て当該第1の受け渡しモジュールに搬送された後に、前記搬送順で第1の受け渡しモジュールに搬送するように搬送手段の動作が制御される。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
複数枚の基板を格納したキャリアが載置されるキャリア載置部を備えたキャリアブロックと、前記基板を1枚ずつ処理する処理モジュールを少なくとも一つ備えた処理ブロックと、を備えた基板処理装置において、
前記キャリアから搬出された基板が予め設定された搬送順で搬送され、その基板を前記処理ブロックに搬入するために、一旦載置させる第1の受け渡しモジュールと、
前記処理ブロックにて処理済みの基板をキャリアへ戻すために一旦載置させる第2の受け渡しモジュールと、
前記キャリアから搬出し、前記第1の受け渡しモジュールに搬入する前の基板を待機させるために複数枚の基板を格納できるように構成されたバッファモジュールと、
前記キャリア載置部に載置されたキャリアと、前記第1の受け渡しモジュールと、前記バッファモジュールと、前記第2の受け渡しモジュールとの間で基板を搬送する第1の搬送手段と、
先に第1の受け渡しモジュールに搬入された基板が、後から第1の受け渡しモジュールに搬入された基板を追い越さないように、前記第1の受け渡しモジュールと、前記第2の受け渡しモジュールと、前記処理ブロックに設けられたモジュールとの間で基板を搬送する第2の搬送手段と、
前記基板処理装置の各部に制御信号を出力して、その動作を制御する制御手段と、を備え、
前記第1の受け渡しモジュールに基板を搬送できるときにはバッファモジュールを介さずにキャリアから第1の受け渡しモジュールへ基板を前記搬送順で搬送し、
前記キャリアから基板をその第1の受け渡しモジュールに搬送できないときに、前記搬送順とは逆順でキャリアからバッファモジュールに基板を搬送し、
前記バッファモジュールに搬送された基板を、その基板に先行して前記第1の受け渡しモジュールに搬送されるように設定された基板が全て当該第1の受け渡しモジュールに搬送された後に、前記搬送順で第1の受け渡しモジュールに搬送するように制御信号が出力されることを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677
, H01L 21/027
H01L21/68 A
, H01L21/30 502Z
, H01L21/30 502J
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031FA01
, 5F031FA03
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031GA02
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031MA02
, 5F031MA03
, 5F031MA06
, 5F031MA24
, 5F031MA26
, 5F031MA27
, 5F031PA02
, 5F046AA28
, 5F046CD01
