特許
J-GLOBAL ID：201003009643725022
分光分析装置及び元素分析装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
柴田 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-045978
公開番号（公開出願番号）：特開2010-197358
出願日： 2009年02月27日
公開日（公表日）： 2010年09月09日
要約：
【課題】小型化が可能で従来の回折格子や光学薄膜フィルターを使用した場合に比べて精度の高い測定が可能な分光分析装置を提供すること。【解決手段】プラズマ発生装置によって創生されたプラズマ光を光源として光を光学系から入射させハーフミラー33によって2方向に分け、第1のBPF35と第2のBPF36を透過させる。両BPF35,36を透過したプラズマ光はそれぞれ第1及び第2の検出用素子22,23によって強度が検出される。第1の検出用素子22によって第1のBPF35を透過した光の強度が検出され、第2の検出用素子23によって第2のBPF36を透過した光の強度が検出される。そして、それらの検出値からバックグラウンド光を補正する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
任意の帯域の波長光のみを特異的に透過させるための1又は2以上の光学フィルターと、検出部とを備え、前記光学フィルターを透過させた光を前記検出部に検出させた検出値に基づいて同光学フィルターの透過特性に対応する特有の元素のスペクトルの定性分析あるいは定量分析を行うことを特徴とするプラズマ発光用分光分析装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2G043AA01
, 2G043CA02
, 2G043EA08
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043HA07
, 2G043HA09
, 2G043JA02
