特許
J-GLOBAL ID:201003010946675158

強誘電性酸化物とその製造方法、圧電体、圧電素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-267049
公開番号(公開出願番号):特開2010-004007
出願日: 2008年10月16日
公開日(公表日): 2010年01月07日
要約:
【課題】圧電性能に優れた強誘電性酸化物を提供する。【解決手段】ACO3で表される強誘電性酸化物の最も安定な結晶構造Xと、BDO3で表される強誘電性酸化物の最も安定な結晶構造Yとが互いに異なる対称性及び分極方向を有し、式(1)を充足する条件で、式(a)で表される強誘電性酸化物の組成を決定し、その組成の強誘電性酸化物を製造する。 (Ax,B1-x)(Cy,D1-y)O3・・・(a)(式(a)中、0≦x≦1、0≦y≦1。A,B:Aサイト元素、C,D:Bサイト元素、O:酸素原子、A〜Dは各々1種又は複数種の金属元素。)、 |E(X)-E(Y)|≦E・PV・・・(1) (式(1)中、E(X)及びE(Y)はそれぞれ、上記一般式(a)で表される強誘電性酸化物の結晶構造X及びYの時のエネルギー、Pは電場をかける前の自発分極密度ベクトル、Eは駆動電場ベクトル、Vは基本格子の体積である。E・PはEとPの内積である。)【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記一般式(a)で表される組成を有する強誘電性酸化物の製造方法において、ACO3で表される強誘電性酸化物の最も安定な結晶構造Xと、BDO3で表される強誘電性酸化物の最も安定な結晶構造Yとが互いに異なる対称性及び分極方向を有し、下記式(1)を充足するように前記強誘電性酸化物の組成を決定し、 該組成の強誘電性酸化物を製造することを特徴とする強誘電性酸化物の製造方法。 (Ax,B1-x)(Cy,D1-y)O3・・・(a) (式(a)中、0≦x≦1、0≦y≦1。 A,B:Aサイト元素、C,D:Bサイト元素、O:酸素原子、A〜Dは各々1種又は複数種の金属元素。 A,Bは互いに異なる組成でもよいし、共通の組成でもよい。ただし、AとBが共通の組成の場合、CとDとは互いに異なる組成である。 C,Dは互いに異なる組成でもよいし、共通の組成でもよい。ただし、CとDが共通の組成の場合、AとBとは互いに異なる組成である。)、 |E(X)-E(Y)|≦E・PV・・・(1) (式(1)中、E(X)及びE(Y)はそれぞれ、上記一般式(a)で表される強誘電性酸化物の結晶構造X及びYの時のエネルギー、Pは電場をかける前の自発分極密度ベクトル、Eは駆動電場ベクトル、Vは基本格子の体積である。E・PはEとPの内積である。)
IPC (10件):
H01L 41/24 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H01L 21/316 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H02N 2/00
FI (9件):
H01L41/22 A ,  H01L27/10 444C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L21/316 B ,  B41J3/04 103A ,  H02N2/00 B
Fターム (17件):
2C057AF51 ,  2C057AG44 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BF06 ,  5F058BF12 ,  5F058BF46 ,  5F058BF47 ,  5F058BJ04 ,  5F083FR01 ,  5F083JA15 ,  5F083JA17 ,  5F083JA38 ,  5F083JA43 ,  5F083JA45
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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引用文献:
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