特許

J-GLOBAL ID：201003013921645466

酸窒化物圧電材料及びその製造方法

発明者： 齋藤 宏 ,  松田 堅義 ,  三浦 薫 ,  高嶋 健二 ,  東 正樹 ,  飯島 高志 ,  舟窪 浩 ,  岡村 総一郎 ,  熊田 伸弘 ,  和田 智志
出願人/特許権者： キヤノン株式会社 ,  国立大学法人京都大学 ,  国立大学法人東京工業大学 ,  国立大学法人山梨大学 ,  独立行政法人産業技術総合研究所 ,  学校法人東京理科大学
代理人 (1件)： 渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-322831
公開番号（公開出願番号）：特開2010-143788
出願日： 2008年12月18日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：

【課題】強誘電性を示し、圧電特性の良好な酸窒化物圧電材料及びその製造方法を提供する。【解決手段】下記一般式(1)で表される正方晶ペロブスカイト型酸窒化物からなり、窒素原子がc軸方向に配向している酸窒化物圧電材料。【化1】(式中、Aは2価の元素、BおよびB’は4価の元素を表す。xは0.35以上0.6以下、yは0.35以上0.6以下、zは0.35以上0.6以下、δ1およびδ2は-0.2以上0.2以下の数値を表す。)前記AはBa,Sr,Caから選ばれた少なくとも1種であり、BおよびB’はTi,Zr,Hf,Si,Ge,Snから選ばれた少なくとも1種である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表される正方晶ペロブスカイト型酸窒化物からなり、窒素原子がc軸方向に配向していることを特徴とする酸窒化物圧電材料。

IPC (5件)：

C04B 35/58 ,  C23C 14/06 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24 ,  H02N 2/00

FI (5件)：

C04B35/58 301 ,  C23C14/06 K ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/22 A ,  H02N2/00 Z

Fターム (32件)：

4G001BA01 ,  4G001BA04 ,  4G001BA05 ,  4G001BA07 ,  4G001BA12 ,  4G001BA13 ,  4G001BA60 ,  4G001BB51 ,  4G001BB73 ,  4G001BC01 ,  4G001BC03 ,  4G001BC11 ,  4G001BC12 ,  4G001BC17 ,  4G001BC22 ,  4G001BC34 ,  4G001BC42 ,  4G001BC46 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BC55 ,  4G001BD23 ,  4G001BE01 ,  4G001BE12 ,  4G001BE32 ,  4K029AA04 ,  4K029AA24 ,  4K029BA41 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC35

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 圧電素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-020657   出願人：株式会社村田製作所
• 圧電材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-194040   出願人：キヤノン株式会社
• 圧電材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-194039   出願人：キヤノン株式会社
• 金属酸化物、圧電材料および圧電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-122468   出願人：キヤノン株式会社, 国立大学法人山梨大学, 国立大学法人京都大学, 独立行政法人産業技術総合研究所, 学校法人東京理科大学, 国立大学法人東京工業大学
• 誘電体組成物及び誘電体組成物の設計方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-149551   出願人：ティーディーケイ株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• 計算材料設計を用いた熱電材料の開発