特許
J-GLOBAL ID：201003018399538753

試料位置検知端部エフェクタおよびその使用方法

発明者：
ポール バッキ

ポール バッキ について

, 
ポール エス フィリプスキー

ポール エス フィリプスキー について


出願人/特許権者：
ニューポート コーポレイション

ニューポート コーポレイション について


代理人 (1件)： 杉村 興作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-006284
公開番号（公開出願番号）：特開2010-110891
出願日： 2010年01月14日
公開日（公表日）： 2010年05月20日
要約：
【課題】ウエハの引っ掻き傷や粒子による汚損を最少にして半導体ウエハを確実に移送し得る試料把持用端部エフェクタを提供すること。【解決手段】光源、及び受光部に作動するように連結された本体を有する端部エフェクタを設け、前記光源、及び受光部は離間するそれぞれの光源光路開口、及び受光路開口を有し、これ等開口の間に光透過路に沿って光ビームが伝搬し、これ等光ビームが既知のビーム形状であるように前記光源光路開口、及び受光路開口の寸法を定め、前記試料と本体との空間を狭くするため、これ等試料と本体との間の相対運動を与え、前記相対運動を与えることに組み合わせて、前記光透過路に交差するように前記試料を位置決めする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
機構に作動可能に結合するよう構成され、試料をその周端縁によって把持する試料周端縁把持装置において、 基端と、これに対向する末端とを有する本体と、 試料の周端縁を支持するパッド部と、前記試料の周端縁を把持するため前記パッド部と共に包括角を形成する後部止め部とを有し、前記本体の前記末端に取り付けられた末端静止パッドと、 前記試料の周端縁を支持するため、前記本体の前記基端に連結された基端静止パッドと、 後退試料積載位置と、試料の寸法によって定まる突出試料把持位置との間に移動可能な基端作用接触点とを具え、 前記後退試料積載位置では、前記本体上に前記試料を設置するための十分な間隙を生じており、前記突出試料把持位置では、前記末端静止パッドに形成された前記包括角内に前記試料の周端縁を押圧している ことを特徴とする試料周端縁把持装置。
IPC (3件)：
B25J 13/08 ,  H01L 21/677 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
B25J13/08 A ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 F
Fターム (30件)：
3C007BS15 ,  3C007BS26 ,  3C007ES02 ,  3C007ES17 ,  3C007EU14 ,  3C007EU17 ,  3C007EV20 ,  3C007HS12 ,  3C007KS03 ,  3C007KS30 ,  3C007KV12 ,  3C007KV13 ,  3C007KX07 ,  3C007LV04 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031GA03 ,  5F031GA06 ,  5F031GA10 ,  5F031GA15 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031JA05 ,  5F031JA17 ,  5F031JA30 ,  5F031JA36
引用特許：
審査官引用 (6件)
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