特許
J-GLOBAL ID：201003022205815376
電子装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-197482
公開番号（公開出願番号）：特開2010-030021
出願日： 2008年07月31日
公開日（公表日）： 2010年02月12日
要約：
【課題】機能素子を構成する機能構造体が下方に間隙を有する可動部を備えてなる電子装置において、上記間隙が小さくなっても可動部をリリースするための犠牲層エッチングを適度に行うことができる電子装置の構造及び製法を提供する。【解決手段】本発明の電子装置10は、基板11と、該基板上に形成され、下方に間隙13gを有する可動部13mを備えた機能構造体13と、前記基板上において前記可動部と同じ層により形成され、下方に間隙14gを有しその平面形状によって前記可動部よりも上下方向に変形容易に構成された変形部14mを備えたモニタ用構造体14と、該変形部上に固定され、前記変形部の変形状態に応じた姿勢を取る検出用構造体14rと、を具備することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、
該基板上に形成され、下方に間隙を有する可動部を備えた機能構造体と、
前記基板上において前記可動部と同じ層により形成され、下方に間隙を有しその平面形状によって前記可動部よりも上下方向に変形容易に構成された変形部を備えたモニタ用構造体と、
該変形部上に固定され、前記変形部の変形状態に応じた姿勢を取る検出用構造体と、
を具備することを特徴とする電子装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
3C081AA02
, 3C081BA04
, 3C081BA28
, 3C081BA30
, 3C081BA43
, 3C081BA48
, 3C081BA80
, 3C081CA03
, 3C081CA13
, 3C081CA44
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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