特許
J-GLOBAL ID：201003025605467937

レジスト用重合体およびこれを用いて製造されたレジスト組成物

発明者：
ジョ ヒュンサン

ジョ ヒュンサン について

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キム ジンホ

キム ジンホ について

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ハン ヨンファ

ハン ヨンファ について

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リ チョンス

リ チョンス について


出願人/特許権者：
コリア クンホ ペトロケミカル カンパニー リミテッド

コリア クンホ ペトロケミカル カンパニー リミテッド について


代理人 (1件)： 名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-201040
公開番号（公開出願番号）：特開2010-084134
出願日： 2009年08月31日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：
【課題】化学増幅型レジスト用重合体およびこれを含む化学増幅型レジスト組成物を提供する。【解決手段】化学式(1)において、Xはビニルエーテル誘導体またはオレフィン誘導体であり、R1、R2、R3、およびR4は、それぞれ、水素原子、エーテル基、エステル基、カルボニル基、アセタール基、エポキシ基、ニトリル基、およびアルデヒド基のうちの少なくとも1つの官能基を含む炭素数1〜30のアルキル基であり、l、m、n、o、およびpはそれぞれの反復単位を示す。なお、lは0.05〜0.5の実数であり、mおよびnはそれぞれ0.1〜0.7の実数であり、oおよびpはそれぞれ0〜0.7の実数であり、l、m、n、o、およびpの合計は1である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
下記化学式(1)に表示される化学増幅型レジスト用重合体。
IPC (6件)：
C08F 232/08 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  C08F 220/10 ,  C08F 216/14
FI (7件)：
C08F232/08 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F220/10 ,  C08F216/14
Fターム (40件)：
2H125AF17P ,  2H125AF36P ,  2H125AH12 ,  2H125AH15 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ23Y ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ69Y ,  2H125AJ88Y ,  2H125AN39P ,  2H125AN67P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4J100AE01P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100AR11P ,  4J100BA03P ,  4J100BA03R ,  4J100BA10P ,  4J100BA11S ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC23T ,  4J100BC53S ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (5件)
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