感光性樹脂組成物、SAWフィルタ及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：長谷川芳樹 , 清水義憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-319933
公開番号（公開出願番号）：特開2010-145522
出願日： 2008年12月16日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：

【課題】溶剤現像に対応可能であり、低温硬化可能であり、吸水率が十分に低く、耐湿熱性に優れ、厚膜でも解像度に優れ、硬化物が高いガラス転移温度を有する感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)ポリアミック酸と、(B)重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含有し、上記(B)重合性化合物が、分子内にアミド結合及び2以上のエチレン性不飽和基を有する重合性化合物を含む、感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)ポリアミック酸と、(B)重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含有し、前記(B)重合性化合物が、分子内にアミド結合及び2以上のエチレン性不飽和基を有する重合性化合物を含む、感光性樹脂組成物。

IPC (11件)：

G03F 7/027 , G03F 7/037 , G03F 7/40 , H01L 21/027 , C08F 2/44 , C08G 73/10 , H01L 41/09 , H01L 41/18 , H01L 41/22 , H03H 9/25 , H03H 3/08

FI (11件)：

G03F7/027 502 , G03F7/037 501 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R , C08F2/44 C , C08G73/10 , H01L41/08 L , H01L41/18 101A , H01L41/22 Z , H03H9/25 A , H03H3/08

Fターム (49件)：

2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC43 , 2H025BC81 , 2H025CA35 , 2H025CB25 , 2H025FA15 , 2H025FA29 , 2H096AA27 , 2H096BA05 , 2H096EA02 , 2H096GA03 , 2H096HA01 , 4J011AA05 , 4J011PA67 , 4J011PB40 , 4J011PC02 , 4J011QA12 , 4J011VA01 , 4J043PA04 , 4J043PA08 , 4J043QB31 , 4J043RA03 , 4J043SA05 , 4J043UA041 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA152 , 4J043UA672 , 4J043UB011 , 4J043UB022 , 4J043UB122 , 4J043UB162 , 4J043UB301 , 4J043UB402 , 4J043VA042 , 4J043ZB47 , 5J097AA25 , 5J097AA33 , 5J097BB11 , 5J097HA04 , 5J097JJ03 , 5J097JJ06 , 5J097JJ10 , 5J097KK10

引用特許：

出願人引用 (7件)

弾性表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-054164 出願人：京セラ株式会社
弾性表面波装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-010957 出願人：株式会社村田製作所
弾性表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-190723 出願人：株式会社村田製作所

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