特許
J-GLOBAL ID:201003032073540190
面画像生成装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-015439
公開番号(公開出願番号):特開2010-175283
出願日: 2009年01月27日
公開日(公表日): 2010年08月12日
要約:
【課題】簡易な構成で、検査対象物の面の状態を表わす画像を生成することができるようにする。【解決手段】駆動部12によって、水平面上で板状の検査対象物を移動させる。また、レーザ照射部14によって、検査対象物の移動方向と直交するする方向を長さ方向とするレーザスリット光を、検査対象物に対して照射し、エリアカメラ18によって、検査対象物からのレーザスリット光の反射光を含む領域を撮像する。画像処理部32によって、複数の撮像画像の各々から、反射光を表わす画素ラインを抽出し、画素ラインの抽出結果の各々を撮像順に並べて合成することにより、検査対象物の面状態を表わすプレーン画像を生成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
板状の検査対象物の厚み方向を法線とする平面上で前記検査対象物を移動させる駆動手段と、
照射方向を前記厚み方向に対して傾斜させて、前記検査対象物の移動方向と交差する方向を長さ方向とする線状の光を、前記検査対象物に対して照射する光照射手段と、
前記検査対象物からの前記線状の光の反射光を含む領域を撮像する撮像手段と、
前記検査対象物の所定の移動量毎に前記撮像手段により撮像された複数の撮像画像の各々から、前記厚み方向と直交する方向に画素が配列され、かつ、前記反射光を表わす画素列を抽出し、前記画素列の抽出結果の各々を撮像順に並べて合成することにより、前記検査対象物の面の状態を表わす面画像を生成する画像生成手段と、
を含む面画像生成装置。
IPC (4件):
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/958
FI (4件):
G01B11/24 K
, G01N21/88 J
, G01B11/30 A
, G01N21/958
Fターム (36件):
2F065AA24
, 2F065AA53
, 2F065BB01
, 2F065BB05
, 2F065BB17
, 2F065BB22
, 2F065CC02
, 2F065CC25
, 2F065DD02
, 2F065FF01
, 2F065FF02
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065FF64
, 2F065FF67
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065MM03
, 2F065NN20
, 2F065PP12
, 2F065QQ03
, 2F065QQ24
, 2F065SS02
, 2G051AA41
, 2G051AB02
, 2G051BA10
, 2G051BB01
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA06
, 2G051ED08
, 2G051GD03
引用特許:
審査官引用 (6件)
-
検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-303435
出願人:株式会社アポロメック
-
物体形状認識方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-015829
出願人:富士機械製造株式会社
-
表面欠陥検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-065456
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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