特許
J-GLOBAL ID：201003036237398581
圧電型アクチュエータ、液適吐出ヘッド、液滴ヘッドカートリッジ、液滴吐出装置、マイクロポンプ及び圧電型アクチュエータの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-061282
公開番号（公開出願番号）：特開2010-214633
出願日： 2009年03月13日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：
【課題】薄膜圧電素子の外部環境の変化に起因する動作不良を解消して安定した滴吐出特性が得られ、信頼性の高い高画質記録が可能な圧電型アクチュエータを提供する。【解決手段】基板11上に積層された振動板20を有して、振動板20の撓み方向に圧力を発生する圧電型アクチュエータにおいて、振動板20を、複数のチャネルに分離された圧電体膜24と、圧電体膜24の両面側に積層され圧電体膜24に電圧を印加して撓み振動をさせるための一対の電極膜と、一対の電極膜のうちの基板側11の一方及び基板11の間に設けた圧電体膜24のチャネルに対応する、減圧に密封形成した空隙部14及び各空隙部14をはさむ隔壁15からなる層とから構成した。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板上に積層された振動板が、電圧を印加されて撓み振動をすることで該撓み方向に変位する圧電型アクチュエータであって、
前記振動板は、
複数のチャネルに分離された圧電体膜及び該圧電体膜の両面側に形成され、前記圧電体膜に電圧を印加して撓み振動をさせるための一対の電極膜からなる圧電素子と、該一対の電極膜のうちの前記基板側の一方及び前記基板の間に設けた、前記圧電体膜の各チャネルに対応する、減圧に密封形成した空隙部及び各空隙部をはさむ隔壁からなる層と、を有することを特徴とする圧電型アクチュエータ。
IPC (4件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H02N 2/00
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H02N2/00 B
2C057AF65
, 2C057AG12
, 2C057AG99
, 2C057AP31
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057AP56
, 2C057AP57
, 2C057BA04
, 2C057BA14
