特許
J-GLOBAL ID：200903032026207864
液体噴射ヘッドおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
布施 行夫
, 大渕 美千栄
, 伊奈 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-316720
公開番号（公開出願番号）：特開2008-126605
出願日： 2006年11月24日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】キャパシタ構造の劣化を防止することのできる液体噴射ヘッドおよびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッド1000は、基板10と、基板に設けられた圧力発生室16と、基板の上方に設けられた弾性板20と、弾性板の上方に設けられたキャパシタ構造部60であって、下部電極層30と、圧電体層40と、上部電極層50とを有するキャパシタ構造部と、キャパシタ構造部の少なくとも側面に設けられた保護層62と、キャパシタ構造部の上方に設けられた多孔質層80と、多孔質層の上に設けられた封止層90と、を含み、キャパシタ構造部と前記多孔質層との間に空洞部72が形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板に設けられた圧力発生室と、
前記基板の上方に設けられた弾性板と、
前記弾性板の上方に設けられたキャパシタ構造部であって、下部電極層と、圧電体層と、上部電極層とを有するキャパシタ構造部と、
前記キャパシタ構造部の少なくとも側面に設けられた保護層と、
前記キャパシタ構造部の上方に設けられた多孔質層と、
前記多孔質層の上に設けられた封止層と、
を含み、
前記キャパシタ構造部と前記多孔質層との間に空洞部が形成されている、液体噴射ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AP75
, 2C057AQ08
, 2C057BA04
, 2C057BA14
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (9件)
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