特許

J-GLOBAL ID：201003037244121770

角速度センサ

発明者： 樋口 祐史 ,  藤井 哲夫 ,  井上 真樹
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (4件)： 伊藤 高順 ,  加藤 大登 ,  永井 聡 ,  碓氷 裕彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-224824
公開番号（公開出願番号）：特開2010-060372
出願日： 2008年09月02日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：

【課題】振動体と連成梁とを同じ層のシリコン基板を用いて形成する場合、振動体同士間であって連成梁が形成される領域には、連成梁以外の機能が形成できない。【解決手段】第1方向に駆動する駆動部と、第1方向に直交する第2方向に可動する検出部と、駆動部と検出部とを連結する弾性部材とからなるユニットを複数備え、第1ユニットの駆動部の上面と第2ユニットの駆動部の上面とは、第1ユニットの検出部および第2ユニットの検出部の上面と離間する連成梁により接続される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1方向に駆動される駆動部(100)と、 前記第1方向に直交する第2方向に可動する検出部(101)と、 前記駆動部(100)と前記検出部(101)とを連結する弾性部材(101b)とを各々有する第1ユニットと第2ユニットとを備え、 前記第1ユニットの駆動部(100)の上面と前記第2ユニットの駆動部(100)の上面とは、該第1ユニットの検出部(101)および該第2ユニットの検出部(101)の上面と離間する連成梁(104)により接続されることを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

Fターム (6件)：

2F105BB03 ,  2F105BB14 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 回転角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-317753   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

審査官引用 (4件)

• ヨーレートセンサ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-566605   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 回転レートセンサー
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-566607   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 力学量検出装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-069750   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 回転レートセンサ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2009-522190   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング