特許
J-GLOBAL ID：201003039856190790
近接場光学顕微鏡の信号光測定システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小林 良平
, 市岡 牧子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-241151
公開番号（公開出願番号）：特開2010-071871
出願日： 2008年09月19日
公開日（公表日）： 2010年04月02日
要約：
【課題】近接場光により試料から放射される信号光のプローブ・試料間距離依存性を調べることができる近接場光学顕微鏡の信号光測定システムを提供する。【解決手段】本発明の信号光測定システムは、試料の表面を走査するプローブ12、光源16、試料から放射される信号光を検出する分光器18を備えている。前記プローブ12はカンチレバーとその先端の銀チップから成る。カンチレバーは振動子20によって加振され、これにより銀チップの先端が試料表面に間接接触する。光源16から放射された光は、光変調器24、ビームスプリッタ26,対物レンズ22,透明基板12を経て試料表面に照射され、試料表面に近接場光を生成させる。この近接場光によって試料から信号光が放射される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
先端が尖鋭なプローブを試料上で走査しつつ、前記プローブ近傍に生成される近接場光によって前記試料から放射される信号光を検出し当該試料のイメージングを行う近接場光学顕微鏡の信号光測定システムにおいて、
a) 前記プローブと試料との相対距離を周期的に変化させる振動付与機構と、
b) 前記プローブ近傍に近接場光を生成させるための光を照射する光照射機構と、
c) 前記プローブと前記試料との相対距離の変化に同期して、前記光照射機構が照射する光の強度を変化させる光強度変調機構と、
d) 前記試料から放射される信号光を測定する信号光測定機構と、
を備えることを特徴とする近接場光学顕微鏡の信号光測定システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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