圧力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊藤洋二 , 三浦高広 , 水野史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-295362
公開番号（公開出願番号）：特開2010-122036
出願日： 2008年11月19日
公開日（公表日）： 2010年06月03日
要約：

【課題】ケースにおける受圧用ダイアフラムとの接続箇所の熱歪みにより被測定圧力の大きさに対するセンサ出力の関係にズレが発生することを抑制でき、精度良い圧力検出が行えるようにする。【解決手段】ケース1の内側にハウジング30を配置し、受圧用ダイアフラム10をハウジング30にも固定した構造とする。そして、ハウジング30がケース1によって完全に覆われ、ハウジング30が被測定圧力が伝えられる雰囲気から遮断された状態にする。つまり、受圧用ダイアフラム10、ハウジング30、金属ステム40および圧力伝達部材60によってカプセル部が構成され、カプセル部のうち受圧用ダイアフラム10の受圧面以外の部分が燃焼室側に露出させられていない構造とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

一面が被測定圧力を受ける受圧面となっており、この受圧面に前記被測定圧力を受けて歪む円形状の受圧用ダイアフラム(10)と、一端部が前記受圧用ダイアフラム(10)の前記受圧面とは反対側の他面に接触している圧力伝達部材(60)と、前記圧力伝達部材(60)の前記一端部とは反対の他端部側に設けられ、前記受圧用ダイアフラム(10)が受けた被測定圧力に応じた力が前記圧力伝達部材(60)を介して加えられることで、それに応じた信号を発生する感歪素子が形成されたセンサチップ(50)とを備える圧力センサにおいて、前記圧力伝達部材(60)を囲む円筒状部材で構成され、一端部が前記受圧用ダイアフラム(10)における前記受圧面とは反対側の他面に接合されたハウジング(30)と、前記圧力伝達部材(60)における前記他端部と接触し、前記センサチップ(50)が貼り付けられると共に、前記圧力伝達部材(60)から加えられる前記被測定圧力に応じた力に基づいて変位することで前記センサチップ(50)に対して前記被測定圧力に応じた力を伝える金属ステム(40)と、前記ハウジング(30)、前記金属ステム(40)、前記センサチップ(50)および前記圧力伝達部材(60)を収容する中空部を有する円筒状部材にて構成され、先端部(11)が前記受圧用ダイアフラム(10)に接合されることで、前記受圧用ダイアフラム(10)と共に、前記ハウジング(30)、前記金属ステム(40)、前記センサチップ(50)および前記圧力伝達部材(60)を覆うケース(1)と、を有し、前記ケース(1)により、前記ハウジング(30)の外周面の全域が覆われることで、前記ハウジング(30)が前記被測定圧力が伝えられる雰囲気から遮断されており、前記受圧用ダイアフラム(10)が前記ケース(1)の先端部(11)に入り込むように嵌め込まれていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 19/06 , G01L 23/26

FI (2件)：

G01L19/06 Z , G01L23/26

Fターム (10件)：

2F055AA23 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055DD05 , 2F055EE13 , 2F055FF01 , 2F055FF23 , 2F055GG12 , 2F055HH07

引用特許：

出願人引用 (2件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-323445 出願人：株式会社デンソー
高温用圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-130279 出願人：日本電装株式会社

審査官引用 (7件)

圧力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-058514 出願人：株式会社デンソー
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-142874 出願人：株式会社豊田中央研究所
特開平1-147331

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