特許
J-GLOBAL ID：201003048361324799
センシング素子、センシング装置、方位検出装置及び情報機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-256914
公開番号（公開出願番号）：特開2010-085338
出願日： 2008年10月02日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：
【課題】高コスト化を招くことなく、小型で高い信頼性を有し、加速度及び地磁気を同時に検出することができるセンシング素子を提供する。【解決手段】4つの磁気発生部材と、対応する磁気発生部材からの磁気を検出するための4つのTMR素子と、3軸方向に関する地磁気を検出するための3つのTMR素子とが、形成されたセンサ基板121Aと、センサ基板121Aをカバーするカバー部材を有している。そして、センサ基板121Aは、錘部と、可動部とを有し、錘部に4つの磁気発生部材が形成され、可動部にZ軸方向に関する地磁気を検出するためのTMR素子が形成されている。また、カバー部材は、可動部に機械的な力を作用させ、可動部に形成されているTMR素子を傾斜させる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
加速度によって変位する錘部と、外力によって可動する少なくとも1つの可動部とを有し、前記錘部に形成された少なくとも1つの磁気発生部材と、該磁気発生部材からの磁気を検出するための複数の磁気センサと、前記少なくとも1つの可動部を含む複数の位置に形成され3軸方向に関する地磁気を検出するための複数の磁気センサとが形成されたセンサ基板と;
前記センサ基板をカバーするとともに、機械的な力を作用させて前記少なくとも1つの可動部を、該可動部以外に対して傾斜させるカバー部材と;を備えるセンシング素子。
IPC (3件)：
G01C 21/10
, G01R 33/09
, G01C 21/08
G01C21/10
, G01R33/06 R
, G01C21/08
2F129AA02
, 2F129BB21
, 2F129BB27
, 2F129BB28
, 2F129BB29
, 2F129FF12
, 2G017AA03
, 2G017AA10
, 2G017AA16
, 2G017AD55
, 2G017AD63
, 2G017AD65
, 2G017BA09
