センサ及び同センサを用いた物理量の測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人プロスペック特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-281194
公開番号（公開出願番号）：特開2006-098078
出願日： 2004年09月28日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：

【課題】検出素子として磁気検出素子のみを用いて外部磁界及び加速度等を測定できるセンサを提供すること。【解決手段】センサ10は、基板10a上に固定された第1X軸GMR素子11〜第4X軸GMR素子14と、基板10a上に移動可能に支持された可動コイル32とを備えている。可動コイル32に電流が流されると、可動コイル32の周りに磁界が発生し、第1〜第4X軸GMR素子に磁界が加わる。可動コイル32はセンサ10に発生した加速度に応じて移動する。これにより、第1〜第4X軸GMR素子に加えられる磁界が変化する。センサ10は、可動コイル32に電流を流していない状態において第1〜第4X軸GMR素子の抵抗値に基づき外部磁界を測定し、可動コイル32に一定の電流を流した状態において第1〜第4X軸GMR素子の抵抗値に基づき加速度等を測定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に固定されるとともに加えられる磁界に応じた大きさの特性値を示す磁気検出素子と、前記基板にバネ性を有する支持部材を介して移動可能に支持され且つ通電により発生した磁界を前記磁気検出素子に加える可動コイルと、を備え、前記磁気検出素子が示した特性値に応じた値を出力するセンサ。

IPC (2件)：

G01C 21/10 , G01C 21/08

FI (2件)：

G01C21/10 , G01C21/08

Fターム (4件)：

2F029AA02 , 2F029AB03 , 2F029AC02 , 2F029AC08

引用特許：

出願人引用 (1件)

集積化方位センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-374890 出願人：旭化成株式会社

審査官引用 (6件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-075676 出願人：松下電器産業株式会社
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-330062 出願人：オムロン株式会社
超小型加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-083361 出願人：株式会社アカシ

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