特許
J-GLOBAL ID：201003050040414375

ストッカー装置及び基板処理装置

発明者：
福冨 義光

福冨 義光 について

, 
岩田 秀之

岩田 秀之 について


出願人/特許権者：
株式会社SOKUDO

株式会社SOKUDO について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-014131
公開番号（公開出願番号）：特開2010-171314
出願日： 2009年01月26日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：
【課題】 装置の大型化を抑えることができるとともに、効率良く基板の払出及び回収が行えるストッカー装置及び基板処理装置を提供する。【解決手段】 基板処理装置本体1に対して基板の払出及び回収を行うために、複数枚の基板を収納する容器であるフープFを載置するオープナー10a〜10dと、フープFを把持して搬送する搬送機構と、オープナー10a〜10dの上方に位置してフープFを載置する棚20とを備え、棚20は、外部搬送装置からフープFを受け取るための受取棚21と、外部搬送装置にフープFを引き渡すための引渡棚22と、基板Wが払出された後の空になったフープFを保管する処理中用保管棚BF1、BF2とを含み、オープナー10a〜10dは、基板Wを払出すための払出専用オープナー10a、10bと、基板を回収するための回収専用オープナー10c、10dとを含むことを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
枚葉式の基板処理装置本体に連結して設置するストッカー装置において、 基板処理装置本体に対して基板の払出及び回収を行うために、複数枚の基板を収納する容器であるフープを載置するオープナーと、 フープを把持して搬送する搬送機構と、 少なくともフープの搬送を制御する制御手段と、 前記オープナーの上方に位置してフープを載置する棚とを備え、 前記棚は、 外部搬送装置からフープを受け取るための受取棚と、 外部搬送装置にフープを引き渡すための引渡棚と、 基板が払出された後の空になったフープを保管する処理中用保管棚とを含み、 前記オープナーは、基板を払出すための払出専用オープナーと、基板を回収するための回収専用オープナーとを含むことを特徴とするストッカー装置。
IPC (3件)：
H01L 21/673 ,  B65G 1/00 ,  B65G 1/137
FI (3件)：
H01L21/68 T ,  B65G1/00 547C ,  B65G1/137 B
Fターム (31件)：
3F022AA08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022HH11 ,  3F022JJ09 ,  3F022KK20 ,  3F022LL07 ,  3F022LL12 ,  3F022MM01 ,  3F022MM07 ,  3F022MM13 ,  3F022MM22 ,  3F022MM27 ,  3F022MM35 ,  3F022MM64 ,  3F022MM65 ,  3F022PP06 ,  3F022QQ00 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA11 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA43 ,  5F031NA02 ,  5F031NA07 ,  5F031PA02
引用特許：
審査官引用 (8件)
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