特許
J-GLOBAL ID：200903083585078407

基板搬送処理装置

発明者：
金子 聡

金子 聡 について

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上川 裕二

上川 裕二 について

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高口 玲

高口 玲 について

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黒田 修

黒田 修 について

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北原 重徳

北原 重徳 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-243993
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134588
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：
【要約】【課題】 装置全体を小型にしてスループットの向上を図れるようにすると共に、製品歩留まりの向上を図れるようにすること。【解決手段】 ウエハWを水平状態に収納し蓋体により開放及び閉塞可能なキャリア1の搬入部と、キャリア1の搬出部と、蓋開閉装置へキャリア1を搬送するキャリアリフタ8と、キャリア1内のウエハWを取り出すウエハ取出しアーム14と、キャリア1内にウエハWを収納するウエハ収納アーム16と、ウエハWを水平、垂直状態に変換する姿勢変換装置40と、ウエハWを適宜処理する処理部3と、姿勢変換装置40と処理部3との間でウエハWを受け渡しすると共に、処理部3にウエハWを搬入又は搬出するウエハ搬送アーム56とで主要部を構成することにより、キャリア1内に水平状態で収納されるウエハWを取り出して垂直状態に姿勢変換した後、適宜処理を施し、処理後水平状態に姿勢変換してキャリア1内に収納することができる。
請求項（抜粋）：
複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納し蓋体により開放及び閉塞可能な容器の搬入部と、上記容器の搬出部と、上記蓋体の開放及び閉塞を行う蓋開閉装置と、上記蓋開閉装置へ上記容器を搬送する容器搬送手段と、上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、上記姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で基板を搬送する基板搬送手段と、を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304 648
FI (6件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 D ,  H01L 21/68 M ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/304 648 B
Fターム (46件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031FA18 ,  5F031FA21 ,  5F031FA24 ,  5F031GA05 ,  5F031GA10 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA19 ,  5F031GA32 ,  5F031GA36 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA57 ,  5F031HA73 ,  5F031JA01 ,  5F031JA05 ,  5F031JA13 ,  5F031JA15 ,  5F031JA22 ,  5F031JA35 ,  5F031JA43 ,  5F031KA14 ,  5F031LA09 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031MA03 ,  5F031MA06 ,  5F031MA15 ,  5F031MA23 ,  5F031NA02 ,  5F031NA10 ,  5F031PA24
引用特許：
審査官引用 (13件)
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