特許
J-GLOBAL ID：201003054364661826
ハンダボール検査リペア装置およびハンダボール検査リペア方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-170563
公開番号（公開出願番号）：特開2010-010565
出願日： 2008年06月30日
公開日（公表日）： 2010年01月14日
要約：
【課題】ハンダボールを基板面上に供給した後に検査によって欠陥を検出した場合に、欠陥の修復を低コストで効率よく確実に行うことが可能となるハンダボール検査リペア装置を提供する。【解決手段】基板の電極パッド上に搭載されたハンダボールの状態を検査して、欠陥が検出された電極パッドにハンダボールを供給する修復用ディスペンサを備えたハンダボール検査リペア装置において、修復用ディスペンサ87は、ハンダボール24を保持する吸着ノズル90と、吸着ノズル90内に形成した貫通穴92と、吸着ノズル90の貫通穴92の内部を移動自在である心棒91と、心棒91の端部がハンダボール24を電極パッド120に対して押し付けている状態で、吸着ノズル90をハンダボール24から離れる方向に移動させる駆動機構とを設けた。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
基板の電極パッド上に搭載されたハンダボールの状態を検査して、欠陥が検出された電極パッドにハンダボールを供給する修復用ディスペンサを備えたハンダボール検査リペア装置において、
前記修復用ディスペンサは、
前記ハンダボールを保持する吸着ノズルと、
前記吸着ノズル内に形成した貫通穴と、
前記吸着ノズルの前記貫通穴の内部を移動自在である心棒と、
前記心棒の端部が前記ハンダボールを前記電極パッドに対して押し付けている状態で、前記吸着ノズルを前記ハンダボールから離れる方向に移動させる駆動機構と、
を備えたことを特徴とするハンダボール検査リペア装置。
IPC (1件)：
FI (3件)：
H01L21/92 604T
, H01L21/92 604H
, H01L21/60 321Z
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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