特許
J-GLOBAL ID：201003055234331073
集束イオンビーム装置、及びそれを用いた試料の加工方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
赤尾 謙一郎
, 下田 昭
, 小山 尚人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-037307
公開番号（公開出願番号）：特開2010-190808
出願日： 2009年02月20日
公開日（公表日）： 2010年09月02日
要約：
【課題】集束イオンビーム装置による加工の際、マニピュレータとして微小ピンセットとその回転機構とを用いることで、傾斜機構を必要とせずに試料の向きを変えて試料ホルダへ固定可能な集束イオンビーム装置を提供する。【解決手段】試料20を固定するための固定面62sを有する試料ホルダ62と、試料ホルダが設置されている試料台61と、集束イオンビームを試料に照射する集束イオンビーム照射機構120と、試料を挟持し、その軸方向Lが試料台の表面と所定の角度θをなす微小ピンセット50と、微小ピンセットを開閉させる開閉機構53と、微小ピンセットを軸方向の周りに回転させる回転機構54と、微小ピンセットの位置を移動させる移動機構55とを備えた集束イオンビーム装置100である。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
試料を固定するための固定面を有する試料ホルダと、
前記試料ホルダが設置されている試料台と、
集束イオンビームを前記試料に照射する集束イオンビーム照射機構と、
前記試料を挟持し、その軸方向が前記試料台の表面と所定の角度をなす微小ピンセットと、
前記微小ピンセットを開閉させる開閉機構と、
前記微小ピンセットを前記軸方向の周りに回転させる回転機構と、
前記微小ピンセットの位置を移動させる移動機構と
を備えた集束イオンビーム装置。
IPC (4件)：
G01N 1/28
, H01J 37/317
, H01J 37/20
, G01N 1/32
G01N1/28 W
, H01J37/317 D
, H01J37/20 Z
, G01N1/32
, G01N1/28 G
2G052AA13
, 2G052BA27
, 2G052EC14
, 2G052EC18
, 5C001AA08
, 5C001CC04
, 5C001CC08
, 5C034DD09
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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