特許
J-GLOBAL ID：200903024349943923
小片試料の作製とその壁面の観察方法及びそのシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-034599
公開番号（公開出願番号）：特開2004-245660
出願日： 2003年02月13日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：
【課題】微細化、集積化の進んだデバイスの積層構造を確認する場合、走査電子顕微鏡観察では、分解能が不足する。透過電子顕微鏡観察では、透過電子顕微鏡観察のための試料作製をする必要があり、高いスループットを実現することができないという課題があった。【解決手段】試料表面を加工して小片試料を作製する集束イオンビーム装置と、小片試料をピックアップするピックアップ装置と、ピックアップした小片試料を固定する小片試料固定台5と、小片試料固定台5に固定された小片試料の表面をアルゴンイオンビーム7にてエッチングするアルゴンイオンビーム照射装置と、小片試料固定台に固定された小片試料の表面を観察する走査プローブ顕微鏡からなる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
集束エネルギービームを試料に照射して、所定箇所の周囲および底部をエッチングして小片試料とする第一の工程と、前記小片試料を前記試料から取り出す第二の工程と、前記取り出された小片試料の壁面を走査プローブ顕微鏡にて観察する第三の工程と、からなることを特徴とする小片試料の作製とその壁面の観察方法。
IPC (6件)：
G01N1/28
, G01N1/32
, G01N13/10
, G01N13/22
, H01J37/20
, H01J37/317
G01N1/28 G
, G01N1/32 B
, G01N13/10 A
, G01N13/10 D
, G01N13/22 A
, H01J37/20 Z
, H01J37/317 D
, G01N1/28 F
2G052AA13
, 2G052AD32
, 2G052AD52
, 2G052CA04
, 2G052CA16
, 2G052DA05
, 2G052DA33
, 2G052EC14
, 2G052EC16
, 2G052EC22
, 2G052FD04
, 2G052GA36
, 2G052HC02
, 2G052HC15
, 2G052HC34
, 2G052JA09
, 5C001AA01
, 5C001CC04
, 5C034BB06
, 5C034BB09
, 5C034DD09
