特許
J-GLOBAL ID：201003061717027618

圧力センサ

発明者：
米田 雅之

米田 雅之 について

, 
徳田 智久

徳田 智久 について


出願人/特許権者：
株式会社山武

株式会社山武 について


代理人 (5件)： 家入 健 ,  岩瀬 康弘 ,  小泓 正博 ,  須藤 雄一郎 ,  堀 美香
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-260954
公開番号（公開出願番号）：特開2010-091384
出願日： 2008年10月07日
公開日（公表日）： 2010年04月22日
要約：
【課題】小型で高性能な圧力センサを提供すること。【解決手段】本発明にかかる圧力センサは、差圧用ダイアフラム4と、差圧用ダイアフラム4の外周部に設けられた静圧用ダイアフラム17と、差圧用ダイアフラム4を挟んで配置された2つの静圧用ゲージ15a、15bを有し、静圧用ダイアフラム17の端部に形成された第1の静圧用ゲージペア15と、差圧用ダイアフラム4を挟んで配置された2つの静圧用ゲージ16c、16dを有し、静圧用ダイアフラム17の中央部に形成された第2の静圧用ゲージペア16と、を備えたものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板の中央部に設けられた差圧用ダイアフラムと、 前記差圧用ダイアフラムに設けられた差圧用ゲージと、 前記差圧用ダイアフラムの外周部に設けられた静圧用ダイアフラムと、 前記差圧用ダイアフラムを挟んで配置された2つの静圧用ゲージを有し、前記静圧用ダイアフラムの端部に形成された第1の静圧用ゲージペアと、 前記差圧用ダイアフラムを挟んで配置された2つの静圧用ゲージを有し、 前記静圧用ダイアフラムの中央部に形成された第2の静圧用ゲージペアと、を備えた圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/00 ,  G01L 13/06 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01L9/00 303E ,  G01L13/06 R ,  H01L29/84 B
Fターム (26件)：
2F055AA40 ,  2F055BB05 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE13 ,  2F055FF02 ,  2F055FF11 ,  2F055GG15 ,  2F055GG16 ,  2F055GG32 ,  2F055GG35 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA09 ,  4M112DA04 ,  4M112DA10 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112EA13 ,  4M112EA18 ,  4M112FA01 ,  4M112FA20
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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