静電容量型加速度センサ及び静電容量型加速度計

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：中尾直樹 , 中村幸雄 , 草野卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-194907
公開番号（公開出願番号）：特開2010-032367
出願日： 2008年07月29日
公開日（公表日）： 2010年02月12日
要約：

【課題】高い周波数特性が得られるようにする。【解決手段】固定電極43が形成された固定基板41と、固定基板41上に搭載固定された枠体31と、枠体31に支持梁32を介して支持され、入力加速度に応じて固定基板41の板面と平行方向に変位する可動体33と、可動体33に形成された可動電極34とよりなる。固定電極43は固定基板41に配列形成された貫通穴46によって前記変位方向に複数に分割され、可動電極34は可動体33に配列形成された貫通穴35によって前記変位方向に複数に分割されている。固定電極43の分割された電極43aと可動電極34の分割された電極34aとは前記変位方向においてずれて位置されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定の間隙を介して固定電極と可動電極が対向され、加速度入力によりそれら固定電極と可動電極の対向面積が変化するように構成された静電容量型加速度センサであって、前記固定電極が形成された固定基板と、その固定基板上に搭載固定された枠体と、その枠体内に位置して枠体に支持梁を介して支持され、入力加速度に応じて前記固定基板の板面と平行方向に変位する可動体と、その可動体に形成された前記可動電極とよりなり、前記固定電極は前記固定基板に長辺が互いに隣り合うように配列形成された複数の矩形状の貫通穴によって前記変位方向に複数に分割され、前記可動電極は前記可動体に長辺が互いに隣り合うように配列形成された複数の矩形状の貫通穴によって前記変位方向に複数に分割されており、前記固定電極の分割された電極と前記可動電極の分割された電極とは前記変位方向においてずれて位置されていることを特徴とする静電容量型加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/125 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01P15/125 Z , H01L29/84 Z

Fターム (14件)：

4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA21 , 4M112CA24 , 4M112CA31 , 4M112DA03 , 4M112DA04 , 4M112DA09 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA11 , 4M112EA18 , 4M112FA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-212304 出願人：株式会社トーキン

審査官引用 (6件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-212304 出願人：株式会社トーキン
振動型角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-355277 出願人：ミツミ電機株式会社
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-106832 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング

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