特許
J-GLOBAL ID：201003069718215893

位置決め機能を有する検査装置、位置決め機能を有する検査装置用プログラム、位置決め機能を有する検査装置の検査方法

発明者：
吉田 收志

吉田 收志 について


出願人/特許権者：
富士電機ホールディングス株式会社

富士電機ホールディングス株式会社 について


代理人 (1件)： 松本 洋一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-188611
公開番号（公開出願番号）：特開2010-025803
出願日： 2008年07月22日
公開日（公表日）： 2010年02月04日
要約：
【課題】 平面画像による位置決め精度が上がらない場合でも三次元情報を利用して、必要な位置決め精度を実現しつつ、検査を可能な限り短時間で行うこと。【解決手段】 移動ステージと、被検体の平面画像を取得する平面画像取得手段と、三次元情報を取得する三次元情報取得手段と、予め記憶されている基準画像と平面画像とに基づき位置ズレ量を演算する平面画像位置ズレ検出部と、三次元情報取得の要否を判断する三次元情報取得判断部と、三次元情報取得手段で取得した三次元情報に基づき二次元画像を生成する二次元画像生成部と、予め記憶されている基準画像と二次元画像とに基づき位置ズレ量を演算する二次元画像位置ズレ検出部と、位置ズレ量に基づきステージの位置補正量を演算する補正計算部と、移動指令または位置補正量に基づきステージの移動を制御するステージ制御部と、平面画像取得手段にて取得した平面画像に基づき検査判定を行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検体を載置して移動させるステージと、 前記被検体の平面画像を取得する平面画像取得手段と、 前記被検体の三次元情報を取得する三次元情報取得手段と、 予め記憶されている基準画像と前記平面画像とに基づき、マッチング評価値を求めて位置ズレ量を演算する平面画像位置ズレ検出部と、 前記マッチング評価値に基づき三次元情報取得の要否を判断し、三次元情報取得が必要と判断した場合には三次元情報取得指令を出力し、三次元情報取得が不要と判断した場合には前記平面画像位置ズレ検出部で演算した位置ズレ量を出力する、三次元情報取得判断部と、 前記三次元情報取得指令により前記三次元情報取得手段を用いて前記三次元情報を取得し、前記三次元情報に基づき二次元画像を生成する二次元画像生成部と、 予め記憶されている基準画像と前記二次元画像とに基づき位置ズレ量を演算し、当該位置ズレ量を出力する二次元画像位置ズレ検出部と、 前記平面画像位置ズレ検出部または前記二次元画像位置ズレ検出部にて演算された位置ズレ量に基づき前記ステージの位置補正量を演算する補正計算部と、 移動指令または前記位置補正量に基づき前記ステージの移動を制御するステージ制御部と、 平面画像取得手段にて取得した位置ズレがない平面画像に基づき検査判定を行う判定部と、 を有することを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/00
FI (3件)：
G01N21/956 A ,  G01N21/956 B ,  G01B11/00 H
Fターム (28件)：
2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB27 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ38 ,  2G051AA56 ,  2G051AA65 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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