粒子解析装置、データ解析装置、X線分析装置、粒子解析方法及びコンピュータプログラム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：河野登夫 , 河野英仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-225288
公開番号（公開出願番号）：特開2010-060389
出願日： 2008年09月02日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：

【課題】特性X線の検出結果に基づいて、試料中の粒子を適切に区分・識別表示することができる粒子解析装置、データ解析装置、X線分析装置、粒子解析方法及びコンピュータプログラムを提供する。【解決手段】本発明のX線分析装置では、試料SのSEM画像をSEM画像処理部14で生成し、試料Sに含まれる複数の粒子をSEM画像に基づいて検出し、各粒子に電子銃11から電子線(放射線ビーム)を照射し、各粒子から発生する特性X線をX線検出器21で検出する。更にX線データ解析部23は、特性X線の検出結果から各粒子に含有される複数の元素の含有量を求め、粒子解析装置3は、各粒子に係る複数の元素の含有量に対して主成分分析を行い、主成分分析により得られた各粒子に係る複数の主成分得点を用いて階層型クラスター分析を行うことにより、試料Sに含まれる多数の粒子を組成に応じた複数のグループに分類する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料に含まれる複数の粒子の夫々に放射線ビームを照射することによって各粒子から発生する特性X線を分析した結果に基づいて、試料に含まれる複数の粒子を解析する粒子解析装置において、複数の粒子の夫々について、特性X線を分析することによって得られた複数の元素の含有量、又は複数の元素の夫々に対応する特性X線スペクトルのカウント数を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶する複数の粒子の夫々に係る前記含有量又は前記カウント数に基づいて、クラスター分析を行うことにより、複数の粒子を複数のグループに分類する分類手段とを備えることを特徴とする粒子解析装置。

IPC (2件)：

G01N 23/225 , G01N 23/223

FI (2件)：

G01N23/225 , G01N23/223

Fターム (17件)：

2G001AA01 , 2G001AA03 , 2G001BA04 , 2G001BA05 , 2G001CA01 , 2G001EA03 , 2G001FA06 , 2G001GA04 , 2G001GA06 , 2G001KA10 , 2G001KA20 , 2G001NA03 , 2G001NA06 , 2G001NA07 , 2G001NA11 , 2G001NA13 , 2G001NA17

引用特許：

出願人引用 (1件)

試料に含まれる物質の同定方法および分布測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-248845 出願人：株式会社堀場製作所

審査官引用 (5件)

電子プローブマイクロアナライザ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-199809 出願人：日本電子株式会社
電子プローブマイクロアナライザによる粒子解析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-036612 出願人：日本電子株式会社
分析位置決定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-154646 出願人：日本電子株式会社

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引用文献：

審査官引用 (3件)

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