特許
J-GLOBAL ID:201003079275833535

フォトダイオードの駆動方法及び光検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-194283
公開番号(公開出願番号):特開2010-034245
出願日: 2008年07月29日
公開日(公表日): 2010年02月12日
要約:
【課題】吸収効率の良く、フィルタ無しで紫外線のみを検出できるワイドバンドギャップ半導体である酸化亜鉛(ZnO)などの半導体などで、p型、n型の双方が形成でき難い半導体であっても高感度に被測定光量が高感度で高精度であり、しかも再現性良く安定で、S/N比が大きい光検出装置を提供するための駆動方法とその光検出装置を提供する。【解決手段】フォトダイオードに所定の順方向電圧と所定の時間印加した後、紫外線などの受光によるフォトダイオードの短絡光電流もしくはほぼ短絡光電流と見做せるような微小逆方向電圧を印加して光電流を計測するようにして、これらの短絡光電流から紫外線などの受光の量を計測する駆動方法で、順方向印加駆動回路と短絡電流の検出回路を有する光検出装置で、紫外線などの受光による短絡電流を計測する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
被測定光を照射して、受光の量を計測するためのフォトダイオードの駆動方法において、該フォトダイオードに所定の順方向電圧を所定の時間印加した後、受光による該フォトダイオードの短絡光電流もしくは暗電流が無視できる程度の所定の微小逆方向電圧印加時における電流を計測するようにして、該短絡光電流もしくは該所定の微小逆方向電圧印加時における光電流の大きさから受光の量を計測するようにしたことを特徴とするフォトダイオードの駆動方法。
IPC (1件):
H01L 31/10
FI (2件):
H01L31/10 G ,  H01L31/10 A
Fターム (10件):
5F049MA03 ,  5F049MA05 ,  5F049MB01 ,  5F049NA03 ,  5F049NA04 ,  5F049NB07 ,  5F049SE05 ,  5F049SS01 ,  5F049UA20 ,  5F049WA05
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 光センサー
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-332745   出願人:廣井善二, 村岡祐治, 山内徹
  • ダイヤモンド紫外線センサー素子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2005-329253   出願人:独立行政法人物質・材料研究機構
  • 紫外線センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2006-120208   出願人:株式会社村田製作所
審査官引用 (2件)
引用文献:
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