特許
J-GLOBAL ID：201003079902875605

電子ビーム蒸着用電子銃装置

発明者：
▲高▼島 徹

▲高▼島 徹 について

, 
山下 健一

山下 健一 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (2件)： 井島 藤治 ,  鮫島 信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-008401
公開番号（公開出願番号）：特開2010-163668
出願日： 2009年01月19日
公開日（公表日）： 2010年07月29日
要約：
【課題】容易に溶け跡の平坦化作業を行える電子銃蒸着用電子銃装置を提供する。【解決手段】電子ビーム軌道を所定角度曲げてるつぼ6内の蒸着材料7に照射し、該蒸着材料7を溶融してその蒸着材料の蒸気を上部に配置された被蒸着基板に付着させて薄膜を形成させるように構成させた電子ビーム蒸着用電子銃装置において、偏向コイル3による電子ビーム軌道と、走査コイル5による電子ビーム軌道とを制御する電子ビーム軌道制御手段と、該電子ビーム軌道制御手段により前記蒸着材料7へ入射する電子ビーム8の入射角を制御する入射角制御手段とを設け、これら電子ビーム軌道制御手段と入射角制御手段とを動作させることにより、るつぼ6内の蒸着材料の溶け具合の平均化を図る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子ビーム軌道を所定角度曲げてるつぼ内の蒸着材料に照射し、該蒸着材料を溶融してその蒸着材料の蒸気を上部に配置された被蒸着基板に付着させて薄膜を形成させるように構成された電子ビーム蒸着用電子銃装置において、 偏向コイルによる電子ビーム軌道と、走査コイルによる電子ビーム軌道とを制御する電子ビーム軌道制御手段と、 該電子ビーム軌道制御手段により前記蒸着材料へ入射する電子ビームの入射角を制御する入射角制御手段と、 を設け、 これら電子ビーム軌道制御手段と入射角制御手段とを同時に動作させることにより、るつぼ内の蒸着材料の溶け具合の平均化を図ったことを特徴とする電子ビーム蒸着用電子銃装置。
IPC (1件)：
C23C 14/30
FI (1件)：
C23C14/30 B
Fターム (8件)：
4K029AA11 ,  4K029BA46 ,  4K029BA48 ,  4K029BB02 ,  4K029DB05 ,  4K029DB10 ,  4K029DB21 ,  4K029DB22
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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