特許
J-GLOBAL ID:201003081016798599
ガスセンサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
三好 秀和
, 伊藤 正和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-165387
公開番号(公開出願番号):特開2010-008122
出願日: 2008年06月25日
公開日(公表日): 2010年01月14日
要約:
【課題】外部回路を用いることなく感ガス用抵抗素子の電気特性を調整する。【解決手段】基板1の一表面上には、検知対象ガスの付着に応じて抵抗値が変化するナノ構造炭素材料からなる感ガス用抵抗体2が露設されている。感ガス用抵抗体2の一端には電源電圧パッド3が接続され、他端には接続配線4が接続されている。基板1の一表面上には、表面がパッシベーション膜により覆われたナノ構造炭素材料からなる基準用抵抗体5が配設されている。基準用抵抗体5の一端は接続配線4に接続され、他端は接地電極パッド6に接続されている。基準用抵抗体5内及び接続配線4からは複数の配線が引き出され、各配線の端部には出力端子用パッド7a〜7dが接続されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板の一表面側に露設され、検知対象ガスの接触に応じて抵抗値が変化するナノ構造炭素材料からなる感ガス用抵抗体が一対の電極間に設けられた感ガス用抵抗素子と、
前記基板の前記一表面側に形成され、パッシベーション膜により覆われたナノ構造炭素材料からなる基準用抵抗体が一つの電極間に設けられた基準用抵抗素子と、
前記基板の前記一表面側に形成され、前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子とを直列接続する配線と、
前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子の直列回路の両端に設けられたパッドと、
前記基準用抵抗素子内又は前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子の接続点から引き出された複数の配線に接続された複数の出力端子用パッドと
を備えることを特徴とするガスセンサ。
IPC (1件):
FI (2件):
G01N27/12 B
, G01N27/12 C
Fターム (11件):
2G046AA24
, 2G046BA01
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046BB04
, 2G046BC01
, 2G046BC07
, 2G046DC13
, 2G046EB01
, 2G046FB00
, 2G046FE38
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
ガスセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-117495
出願人:松下電工株式会社
審査官引用 (7件)
-
ガスセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-117495
出願人:松下電工株式会社
-
湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-351683
出願人:タバイエスペック株式会社
-
ガス検出装置とその調整方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-259264
出願人:フィガロ技研株式会社
-
におい測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-363590
出願人:株式会社島津製作所
-
電流値変化測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-047829
出願人:浜松ホトニクス株式会社
-
ガスセンサ及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-254752
出願人:フィガロ技研株式会社
-
ガス警報器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-317600
出願人:リコーエレメックス株式会社
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