特許
J-GLOBAL ID:201003087396567681
対象物の3次元測定のための配置および方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (10件):
鈴江 武彦
, 蔵田 昌俊
, 河野 哲
, 中村 誠
, 福原 淑弘
, 峰 隆司
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 野河 信久
, 砂川 克
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-504684
公開番号(公開出願番号):特表2010-525404
出願日: 2008年04月24日
公開日(公表日): 2010年07月22日
要約:
【課題】 対象物の3次元測定のための配置および方法を提供することである。【解決手段】 本発明は、対象物(28)の少なくとも一部の3次元の測定のための測定配置、および、方法に関し、それは、連続スペクトルを有する光源(10)、多焦点照明パターン(16)を生成する装置(14)、対象物上の照明パターンの焦点を撮像するための大きい色収差を有するレンズ(18)、レンズを介して対象物上に共焦点的に撮像された焦点の波長スペクトルを生成するための検出ユニット(40)、および、共焦点的に撮像される焦点と検出装置との間に配置されたスペクトル-分散素子(34、36、33)を具備する。【選択図】
請求項(抜粋):
対象物(28)、特に半透明の対象物の少なくとも一部の3次元測定のための測定配置であって、
連続スペクトラムを有する1つの光源(10)と、
多焦点照射パターン(16)を生成するための1つの装置(14)と、
前記対象物の上の照射パターンの焦点を撮像する高色収差を有する1つの対物レンズ(18)と、
前記対物レンズによって前記対象物上へ共焦点的に撮像される焦点の波長スペクトラムを決定するためのCCDチップ検出器のような1つの検知器ユニット(40)と、
同じく、前記共焦点的に撮像された焦点と、検出器装置との間に配置される1つのスペクトル分散装置(34、36、38)とを具備し、
前記共焦点的に撮像された焦点の平面において、第1の穴(32)を有する穴の1つの第1のマトリックス(30)を配置し、それによって、前記第1の穴の幾何学的配置が、前記多焦点照射パターンの焦点の幾何学的配置に対応することを特徴とする測定配置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (11件):
2H045AB00
, 2H052AA08
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC29
, 2H052AC33
, 2H052AF07
, 4C052AA16
, 4C052FF07
, 4C052GG24
引用特許:
審査官引用 (8件)
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走査型顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-123946
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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レーザ走査型蛍光顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-299027
出願人:オリンパス株式会社
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共焦点光学装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-040165
出願人:株式会社小松製作所
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特開平3-223709
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特許第6867406号
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表面形状計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-024070
出願人:株式会社高岳製作所
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対象物の3次元検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-118311
出願人:ルードルフグロースコプフ
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共焦点距離センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-320137
出願人:シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
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