特許
J-GLOBAL ID：200903071421899835

圧電素子およびその製造方法、圧電アクチュエータ、並びに、液体噴射ヘッド

発明者：
中山 雅夫

中山 雅夫 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  永田 美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-094619
公開番号（公開出願番号）：特開2009-252757
出願日： 2008年04月01日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：
【課題】特性の劣化を抑制した圧電素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電素子100は、基板10と、基板10の上方に形成された下部電極20と、下部電極20の上方に形成された圧電体層30と、圧電体層30の上方の少なくとも一部に形成された上部電極40と、を有し、圧電体層30は、下部電極20と上部電極40の間に形成された第1の部分32と、第1の部分32の外側に連続して形成された第2の部分34と、を有し、第2の部分34は、下部電極20の少なくとも一部を覆い、第2の部分34の膜厚は、第1の部分32の膜厚よりも薄い。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板の上方に形成された下部電極と、 前記下部電極の上方に形成された圧電体層と、 前記圧電体層の上方の少なくとも一部に形成された上部電極と、を有し、 前記圧電体層は、前記下部電極と前記上部電極の間に形成された第1の部分と、 前記第1の部分の外側に連続して形成された第2の部分と、を有し、 前記第2の部分は、前記下部電極の少なくとも一部を覆い、前記第2の部分の膜厚は、前記第1の部分の膜厚よりも薄い、圧電素子。
IPC (7件)：
H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (6件)：
H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H
Fターム (7件)：
2C057AF65 ,  2C057AG12 ,  2C057AP14 ,  2C057AP32 ,  2C057AP52 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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