応力検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 須澤修 , 宮坂一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-012672
公開番号（公開出願番号）：特開2010-169550
出願日： 2009年01月23日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：

【課題】高精度で且つ低消費電力の応力検出装置を得る。【解決手段】応力が変化したときに出力周波数が変化する応力センサ10と、温度が変化したときに出力周波数が変化する周波数変化型の温度センサ11と、前記応力センサ10を動作させる第1の発振回路12aと、前記温度センサ11を動作させる第2の発振回路12bと、を備えている。更に、前記第1の発振回路12aから出力される応力検出信号の周波数をカウントする第1の周波数カウンタ13aと、前記第2の発振回路12bから出力される温度検出信号の周波数をカウントする第2の周波数カウンタ13bと、前記第2の周波数カウンタ13bから出力される周波数カウント信号に基づいて、前記第1の周波数カウンタ13aから出力される周波数カウント信号を補正する処理回路14と、を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

応力が変化したときに出力周波数が変化する応力センサと、温度が変化したときに出力周波数が変化する周波数変化型の温度センサと、前記応力センサを動作させる第1の発振回路と、前記温度センサを動作させる第2の発振回路と、前記第1の発振回路から出力される応力検出信号の周波数をカウントする第1の周波数カウンタと、前記第2の発振回路から出力される温度検出信号の周波数をカウントする第2の周波数カウンタと、前記第2の周波数カウンタから出力される周波数カウント信号に基づいて、前記第1の周波数カウンタから出力される周波数カウント信号を補正する処理回路と、を備えたことを特徴とする応力検出装置。

IPC (1件)：

G01L 1/10

FI (1件)：

G01L1/10 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

圧力センサ用ダイヤフラム、及び圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-161434 出願人：エプソントヨコム株式会社
温度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-102917 出願人：三菱マテリアル株式会社
半導体装置、および温度検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-114791 出願人：富士電機デバイステクノロジー株式会社

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審査官引用 (11件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-111067 出願人：横河電機株式会社, 横河エムアンドシー株式会社
特公昭61-029652
音叉式ロードセルとこれを用いた計量装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-052233 出願人：株式会社イシダ

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