特許
J-GLOBAL ID：200903071600461281
圧力センサ用ダイヤフラム、及び圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
村上 友一
, 大久保 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-161434
公開番号（公開出願番号）：特開2007-327922
出願日： 2006年06月09日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：
【課題】ダイヤフラムと感圧素子との接触による精度劣化を生じさせることの無い圧力センサ用ダイヤフラムを提供する。【解決手段】感圧素子として圧電振動片30を搭載する圧力センサ用のダイヤフラム20であって、可撓部となる薄肉部22の一方の面に、前記圧電振動片30を固定するための対を成す支持部24を有し、対を成す前記支持部24間に、前記薄肉部22を厚肉化するための突出部26を構成したことを特徴とする。また、このような特徴を有する圧力センサ用ダイヤフラム(ダイヤフラム)20では、前記突出部26は、前記薄肉部22の他方の面のみに形成することが望ましい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
感圧素子として圧電素子片を搭載する圧力センサ用のダイヤフラムであって、
可撓部となる薄肉部の一方の面に、前記圧電素子片を固定するための対を成す支持部を有し、
対を成す前記支持部間に厚肉部を構成したことを特徴とする圧力センサ用ダイヤフラム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L9/00 303C
, H01L41/08 Z
2F055AA40
, 2F055BB01
, 2F055CC02
, 2F055DD04
, 2F055EE23
, 2F055FF11
, 2F055GG15
出願人引用 (1件)
審査官引用 (10件)
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