特許
J-GLOBAL ID：201003098511961196

多重波長を用いた3次元形状の測定装置及び測定方法

発明者：
金 ▲民▼ 永

金 ▲民▼ 永 について


出願人/特許権者：
コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド

コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-236031
公開番号（公開出願番号）：特開2010-091570
出願日： 2009年10月13日
公開日（公表日）： 2010年04月22日
要約：
【課題】多重波長を用いた3次元形状の測定装置及び測定方法を提供すること。【解決手段】本発明の多重波長を用いた3次元形状の測定装置は、検査対象物を測定位置に移送させる移送ステージと、検査対象物に対して第1等価波長を有する第1パターン光を第1方向に照射する第1プロジェクターと、検査対象物に対して第1等価波長と波長が異なる第2等価波長を有する第2パターン光を第2方向に照射する第2プロジェクターと、移送ステージの検査対象物から反射される第1パターン光による第1パターンイメージと前記第2パターン光による第2パターンイメージとを撮影するカメラ部と、第1プロジェクターと第2プロジェクターとを制御し、第1パターンイメージと第2パターンイメージとがカメラ部で撮影されると、第1パターンイメージ及び第2パターンイメージを受信して検査対象物の3次元形状を算出する制御部と、を含むことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査対象物を測定位置に移送させる移送ステージと、 前記検査対象物に対して第1等価波長を有する第1パターン光を第1方向に照射する第1プロジェクターと、 前記検査対象物に対して第1等価波長と波長が異なる第2等価波長を有する第2パターン光を第2方向に照射する第2プロジェクターと、 前記移送ステージの前記検査対象物から反射される前記第1パターン光による第1パターンイメージと前記第2パターン光による第2パターンイメージとを撮影するカメラ部と、 前記第1プロジェクターと前記第2プロジェクターとを制御し、前記第1パターンイメージと前記第2パターンイメージとが前記カメラ部で撮影されると、前記第1パターンイメージ及び前記第2パターンイメージを受信して前記検査対象物の3次元形状を算出する制御部と、を含むことを特徴とする3次元形状の測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/25 ,  G06T 1/00
FI (2件)：
G01B11/25 H ,  G06T1/00 315
Fターム (40件)：
2F065AA24 ,  2F065AA46 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF41 ,  2F065GG07 ,  2F065GG17 ,  2F065GG24 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL18 ,  2F065LL22 ,  2F065LL24 ,  2F065LL28 ,  2F065LL53 ,  2F065NN02 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ34 ,  5B057BA02 ,  5B057BA13 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB13 ,  5B057CB16 ,  5B057CD14 ,  5B057CE06 ,  5B057DA07 ,  5B057DC22
引用特許：
審査官引用 (10件)
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