特許

J-GLOBAL ID：201003099488266040

大型ペリクル構造体及び大型ペリクル収納構造体

発明者： 内村 洋文
出願人/特許権者： 旭化成イーマテリアルズ株式会社
代理人 (6件)： 特許業務法人浅村特許事務所 ,  浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  安藤 克則 ,  池田 幸弘 ,  浅野 裕一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-228178
公開番号（公開出願番号）：特開2010-060992
出願日： 2008年09月05日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：

【課題】本発明は、収納・移送・保管時にはトレイに確実な保持固定が可能なペリクル構造体と、フォトマスク等に貼り付ける際には簡単に歪みやたわみを発生させることなく収納容器からペリクルを取り出すことを可能とせしめるペリクル収納構造体を提供することを目的とする。【解決手段】枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着された粘着材からなる粘着材層と、該粘着材層に粘着された保護フィルムからなり、該ペリクル膜が面積10000cm2以上の大型ペリクル構造体であって、枠体が矩形の形状を有し、保護フィルムが該枠体より外側に突出した第一の押さえ代を有しており、該第一の押さえ代は該枠体の一頂点を含む二辺上に位置するとともに該枠体の形状に沿ったL字形状を有していることを特徴とする大型ペリクル構造体。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着された粘着材からなる粘着材層と、該粘着材層に粘着された保護フィルムからなり、該ペリクル膜が面積10000cm2以上の大型ペリクル構造体であって、 枠体が矩形の形状を有し、保護フィルムが該枠体より外側に突出した第一の押さえ代を有しており、該第一の押さえ代は該枠体の一頂点を含む二辺上に位置するとともに該枠体の形状に沿ったL字形状を有していることを特徴とする大型ペリクル構造体。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F1/14 K ,  G03F1/14 J ,  H01L21/30 502P

Fターム (8件)：

2H095BA01 ,  2H095BC31 ,  2H095BC32 ,  2H095BC33 ,  2H095BC36 ,  2H095BC38 ,  2H095BC39 ,  2H095BE11

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 国際公開第2006/59388号パンフレット
  
• ペリクルライナー又はペリクルの剥離装置、剥離方法及びパターン基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-200924   出願人：レーザーテック株式会社

審査官引用 (4件)

• ペリクルと、その収納ケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-197158   出願人：三井化学株式会社
• リソグラフィ用ペリクル及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-321008   出願人：信越化学工業株式会社
• 大型ペリクルの保護フィルム及び大型ペリクルの収納方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-049200   出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
• ペリクル収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-115604   出願人：信越化学工業株式会社