平野栄樹

ヒラノヒデキ | Hirano Hideki

所属機関・部署：
職名：准教授
ホームページURL (2件)： http://db.tohoku.ac.jp/whois/detail/0f4fb6db0db86ebf7af8a4776dea15ef.html , http://db.tohoku.ac.jp/whois/e_detail/0f4fb6db0db86ebf7af8a4776dea15ef.html

研究分野 (2件)：電子デバイス、電子機器 , 機能物性化学

研究キーワード (5件)：酸化物デバイス , 接着 , 界面科学 , マイクロマシニング , MEMS

競争的資金等の研究課題 (1件)：

論文 (56件)：

MISC (6件)：

特許 (3件)：

講演・口頭発表等 (32件)：

Integration of BST Varactors on Lithium Niobate by Film Transfer Technology for Tunable SAW Filters
(International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems 2012)
MEMS構造に損傷を与えないパーティクル除去方法
(第29回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 2012)
ルテニウム犠牲層を用いた強誘電体薄膜の転写方法
(第73回応用物理学会学術講演会 2012)
転写法による強誘電体バラクタとSAW共振子との集積化と可変型フィルタへの応用
(第5 回マイクロシステム融合研究会 2012)
転写法による強誘電体バラクタとSAW共振子の集積化と可変型フィルタへの応用
(圧電材料・デバイスシンポジウム 2012 2012)

学歴 (3件)：

学位 (2件)：

経歴 (5件)：

受賞 (5件)：

2016/10/26 - 電気学会センサ・マイクロマシン部門第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀技術論文賞表面実装型集積化MEMSのためのレーザ消去CMOS-LSIマルチプロジェクトウハへの深いTSVの作製
2016/10/26 - 電気学会センサ・マイクロマシン部門第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム集積化MEMSシンポジウム論文賞厚いAu膜の面内高周波フィードスルーを用いたAu-Au接合気密封止MEMSパッケージング技術
2016/03/31 - 田中貴金属記念財団貴金属に関わる研究助成金シルバー賞切削平坦化した銀バンプを用いたウェハレベル高真空気密封止技術の開発
2006/09/20 - IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2006 (ISSM 2006) Best Paper Award
2000/12/15 - ソニー株式会社 Sony Research Forum 2000 ベストプレゼンテーション賞

所属学会 (3件)：

電気学会 , 応用物理学会 , 日本化学会

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平野 栄樹