特許
J-GLOBAL ID：201103001721428800
リブパターン形成用光重合性感光材料の剥離液及びそれを用いたリブパターンの形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 平八
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-290203
公開番号（公開出願番号）：特開2001-109167
特許番号：特許第3784222号
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】少なくとも2個以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する光重合可能なウレタン(メタ)アクリレート化合物、アルカリ可溶性高分子化合物及び光重合開始剤を含有するプラズマディスプレイパネルのリブパターン形成用光重合性感光材料の剥離液であって、前記剥離液が(a)一般式化1で表わされる有機アミン
(式中、R1、R2は同一又は異なる置換基で、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数2〜6のアルカノール基、アルコキシ基を表わし、R3は水酸基、アミノ基、シクロアルキル基、フェニル基を表わし、nは1〜6の整数を表わし、R3はさらに置換基を有してもよい。)、(b)テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、テトラヒドロキシエチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルトリヒドロキシエチルアンモニウムヒドロキシド群から選ばれる少なくとも1種の第四級アンモニウム塩及び(c)水を含有することを特徴とするリブパターン形成用光重合性感光材料剥離液。
IPC (3件)：
G03F 7/42 ( 200 6.01)
, H01J 9/02 ( 200 6.01)
, H01J 11/02 ( 200 6.01)
G03F 7/42
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (11件)
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