プローブ顕微鏡における試料表面のイメージ作成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：福田武通 (外2名) , 福田武通 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-284630
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146809
特許番号：特許第3376374号
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】カンチレバーのチップに1nm以下の振動を与え、チップと試料との相互作用の引力領域においてその力勾配が負の一定値となるように、チップと試料との間の距離をフィードバック制御すると同時に、チップの振動の振幅あるいは位相が一定となるように振動の振幅あるいは位相のフィードバック制御を行うとともに、試料表面上でチップを走査しそのときの振幅あるいは位相のフィードバック制御信号を用いて試料表面のイメージを作成する、ことを特徴とするプローブ顕微鏡における試料表面のイメージ作成方法。

IPC (2件)：