特許
J-GLOBAL ID：201103002855360744
多孔性有機無機ハイブリッド膜を用いたガスセンサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須藤 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-198055
公開番号（公開出願番号）：特開2011-080983
出願日： 2010年09月03日
公開日（公表日）： 2011年04月21日
要約：
【課題】多孔性有機無機ハイブリッド粒子を用いた水晶振動子(QCM)ガスセンサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】測定する対象ガスと多孔性有機無機ハイブリッド粒子との吸着特性を利用してVOCガス検知を行う水晶振動子ガスセンサであって、層状無機化合物の層間に有機残基が挿入、固定されている多孔性有機無機ハイブリッド粒子が水晶振動子電極上に検知膜として積層された構造を有するガスセンサ、及び上記多孔性有機無機ハイブリッド粒子の縣濁溶液を、水晶電極上に滴下、もしくは当該溶液中に電極を浸漬引き上げ後、乾燥することにより、多孔性有機無機ハイブリッド粒子を水晶振動子電極上に検知膜として積層する、水晶振動子ガスセンサの製造方法。【効果】良好な応答回復性、再現性を有するVOCガスセンサに関する新技術を提供することができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
測定する対象ガスと層状無機化合物粒子との吸着特性を利用してVOCガス検知を行う水晶振動子(QCM)ガスセンサであって、層状無機化合物の層間に有機残基が挿入、固定されている多孔性有機無機ハイブリッド粒子が水晶振動子電極上に検知膜として積層された構造を有することを特徴とするガスセンサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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