特許
J-GLOBAL ID:201103003406113712

窒化物半導体レーザ素子

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-212851
公開番号(公開出願番号):特開2001-044570
特許番号:特許第4625998号
出願日: 1999年07月27日
公開日(公表日): 2001年02月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】 基板上に、少なくともn型窒化物半導体、障壁層とInを含んでなる井戸層とを有する量子井戸構造の活性層、及びp型窒化物半導体を順に積層してなる窒化物半導体レーザ素子において、 前記基板は窒化物半導体と異なる材料よりなる異種基板を備え、その上に第1の窒化物半導体を有し、その表面に凹凸が形成されており、 前記凹凸の凹部は、前記第1の窒化物半導体及び前記異種基板を削って形成されており、 前記異種基板は、前記異種基板の表面から500〜2000オングストロームの深さにまで削られて、前記凹部の底面に前記異種基板が露出されており、 前記活性層が、障壁層の膜厚が100オングストローム以上で、且つ井戸層の膜厚に対する障壁層の膜厚の比が[井戸層の膜厚:障壁層の膜厚]=[1:3〜10]である量子井戸構造であることを特徴とする窒化物半導体レーザ素子。
IPC (1件):
H01S 5/323 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01S 5/323 610
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • AlInGaN系半導体発光素子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-074220   出願人:富士写真フイルム株式会社
  • 窒化物半導体素子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-285406   出願人:日亜化学工業株式会社
審査官引用 (4件)
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引用文献:
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