特許
J-GLOBAL ID：201103003575702247
静電チャックおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
杉村 憲司
, 岡島 伸行
, 杉村 興作
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-376158
公開番号（公開出願番号）：特開2002-184852
特許番号：特許第4312372号
出願日： 2000年12月11日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 窒化アルミニウムからなる誘電層を備えており、この誘電層上にウエハーを吸着するための静電チャックであって、前記誘電層の表面が25nm以下の中心線平均表面粗さを有しており、この誘電層の前記表面を被覆する、アルミナ系セラミックス、アルミナを含む複合材料からなる群より選ばれてなる厚さ200nm以上の表面層を備えていることを特徴とする、静電チャック。
IPC (4件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, C23C 16/44 ( 200 6.01)
, C23C 16/458 ( 200 6.01)
, B23Q 3/15 ( 200 6.01)
H01L 21/68 R
, C23C 16/44 J
, C23C 16/458
, B23Q 3/15 D
