特許
J-GLOBAL ID：201103004144301969
圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
布施 行夫
, 大渕 美千栄
, 永田 美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-257030
公開番号（公開出願番号）：特開2011-103327
出願日： 2009年11月10日
公開日（公表日）： 2011年05月26日
要約：
【課題】圧電体層の結晶が良質で、圧電特性の良好な圧電素子を提供すること。【解決手段】本発明にかかる圧電素子100は、第1電極10と、第1電極10に対向して配置された第2電極20と、第1電極10および第2電極20の間に配置され、少なくとも鉛、ジルコニウム、チタンおよび酸素を含む複合酸化物によって形成された圧電体層30と、を含み、圧電体層30は、圧電体層30の第1電極10側の端に配置された第1結晶層32と、第1結晶層32に連続し、第1結晶層32よりも第2電極20側に配置された第2結晶層34と、を含み、圧電体層30の鉛の濃度は、第1結晶層32の第1電極10側のほうが、第2結晶層34の第2電極20側よりも低く、圧電体層30の酸素の濃度は、第1結晶層32の第1電極10側のほうが、第2結晶層34の第2電極20側よりも高い。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1電極と、
前記第1電極に対向して配置された第2電極と、
前記第1電極および前記第2電極の間に配置された圧電体層と、
を含み、
前記第1電極は、
第1導電層と、
前記第1導電層に接して設けられた第1中間層と、
前記第1中間層に接して設けられた第2中間層と、
前記第2中間層および前記圧電体層に接して設けられた第2導電層と、
を有し、
前記第1導電層は、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Ag、およびAuからなる群より選択される1種、または当該群より選択される少なくとも1種を含む合金からなり、
前記第1中間層は、窒素化合物からなり、
前記第2中間層は、Ti、Zr、W、TaおよびAlからなる群より選択される1種の金属、または当該群より選択される少なくとも2種の合金からなり、
前記第2導電層は、導電性酸化物からなる、圧電素子。
IPC (7件)：
H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, H01L 41/22
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF93
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AP14
, 2C057BA04
, 2C057BA14
