イオン源電極板の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菊池治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-100564
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294123
特許番号：特許第3940521号
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】初めに、銅また銅合金からなる平板内の中心部にかけてガンドリルを用いた孔明け加工によって該平板平面と平行に複数本の孔を穿設し、次に、工具電極を前記孔に挿入してその工具電極を用いた放電加工によって前記孔が該平板の他の端面まで通るように他の孔を加工して複数本の貫通孔として構成し、次に、前記貫通孔の各端面開口部にプラグを装着し、さらに該プラグの外周部をシール溶接によって密封して冷媒を流す冷却孔として構成し、次に、孔明け手段を用いて該平板の平面に対して垂直に向く複数個のビーム孔を穿つと共に、該平板の各端面に近い前記冷却孔と連通するように連絡孔を穿設し、この後、各々前記連絡孔に合わせて前記平板に冷媒供給、回収用ヘッダをろう付けによって固着するようにしたイオン源電極板の製造方法。

IPC (4件)：

H01J 9/02 ( 200 6.01) , G21B 1/11 ( 200 6.01) , H01J 27/02 ( 200 6.01) , H01J 37/08 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01J 9/02 S , G21B 1/00 U , H01J 27/02 , H01J 37/08

引用特許：

出願人引用 (10件)

イオン・プラズマ型電子銃とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-137107 出願人：住友重機械工業株式会社
特開平4-154026
特許第2523742号

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審査官引用 (5件)

イオン・プラズマ型電子銃とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-137107 出願人：住友重機械工業株式会社
特開平4-154026
特許第2523742号

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