機能素子、発光素子、光学デバイス、及び機能素子の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：上柳雅誉 , 須澤修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-539190
特許番号：特許第4348746号
出願日： 1999年02月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板と、前記基板上に位置する第1膜と、前記基板上に位置する第2膜と、前記第1膜上に積層され、前記第1膜と屈折率の異なる第3膜と、前記第2膜上に積層され、前記第2膜と屈折率の異なる第4膜と、前記基板上に位置し、前記第1膜と前記第2膜との間、及び前記第3膜と前記第4膜との間に位置する隔壁と、を含み、前記第1膜と前記第3膜とが交互に周期的に積層して第1分布反射型多層膜ミラーを構成し、前記第2膜と前記第4膜とが交互に周期的に積層して第2分布反射型多層膜ミラーを構成し、前記第1分布反射型多層膜ミラーに反射して出射される第1光の波長と前記第2分布反射型多層膜ミラーに反射して出射される第2光の波長とが異なるものである、ことを特徴とする機能素子。

IPC (5件)：

G02B 5/26 ( 200 6.01) , G02B 5/28 ( 200 6.01) , G02B 5/08 ( 200 6.01) , H01L 33/00 ( 200 6.01) , H01S 5/187 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G02B 5/26 , G02B 5/28 , G02B 5/08 C , H01L 33/00 Z , H01S 5/187

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開昭57-161809
特開昭64-019305
カラー半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-083512 出願人：シャープ株式会社

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審査官引用 (10件)

半導体レーザ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-273877 出願人：三菱電線工業株式会社
光集積回路およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-337172 出願人：日本電気株式会社
特開昭64-019305

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