特許

J-GLOBAL ID：201103007227783603

多層カーボンナノチューブの集合構造の評価方法

発明者： 平尾 孝 ,  古田 守 ,  古田 寛 ,  川原村 敏幸 ,  小向 拓治 ,  下元 温 ,  吉原 久美子
出願人/特許権者： ニッタ株式会社 ,  公立大学法人高知工科大学
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-094102
公開番号（公開出願番号）：特開2011-215119
出願日： 2010年04月15日
公開日（公表日）： 2011年10月27日
要約：

【課題】多層CNTの集合構造全体での構造評価をする。【解決手段】多層CNTの集合構造に対して所定の入射角度でX線を入射するステップと、上記集合構造から出射する回折X線の検出位置を集合構造回りに走査しつつ変えていき、各検出位置で回折X線強度を測定するステップと、上記集合構造のX線入射位置を高さ方向に走査しつつ変えていき、各走査位置で透過X線の強度を測定するステップと、上記回折X線強度の測定データからピーク面積を、また、上記透過X線強度の測定データから減衰量を、それぞれ、演算するステップと、上記ピーク面積と減衰量とから上記集合構造の配向性を解析するステップと、を含む。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板上に配置した複数の多層CNTの集合構造を評価する方法であって、 上記集合構造の任意側面にX線を入射するステップと、上記集合構造の別側の複数の検出位置で当該集合構造から出射されるX線強度を測定するステップと、上記各検出位置でのX線強度からX線強度のピーク面積を演算するステップと、を含むことを特徴とする多層CNT集合構造の評価方法。

IPC (3件)：

G01N 23/207 ,  C01B 31/02 ,  G01N 23/06

FI (3件)：

G01N23/207 ,  C01B31/02 101F ,  G01N23/06

Fターム (10件)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001GA07 ,  2G001JA06 ,  2G001KA12 ,  2G001MA06 ,  2G001SA01 ,  4G146AA11

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 多孔質酸化チタン被覆炭素材料組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-146518   出願人：大阪瓦斯株式会社
• 長周期規則構造体の構造検査方法および検査装置および長周期規則構造体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-340464   出願人：キヤノン株式会社
• X線回折測定方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-093333   出願人：理学電機株式会社
• 膜厚測定方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-019783   出願人：株式会社リガク

引用文献：

審査官引用 (1件)

• X-ray diffraction characterization on the alignment degree of carbon nanotubes