特許
J-GLOBAL ID：201103010578918085

ガラス基板のクリーニング装置

発明者：
亀田 明

亀田 明 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  内藤 浩樹 ,  永野 大介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-089486
公開番号（公開出願番号）：特開2002-287652
特許番号：特許第3992937号
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ガラス基板の縁部の表面付着物をテープ状清掃材によって除去するガラス基板のクリーニング装置であって、前記テープ状清掃材を卷回状態で供給する供給リールと、前記テープ状清掃材を供給リールから引き出して送給するテープ送り手段と、このテープ送り手段によるテープ送り量を検出する送り量検出手段と、前記供給リールから引き出されたテープ状清掃材に送り出し方向と反対方向の張力を付与する張力付与手段と、前記張力の上限値を規定する張力規定手段と、前記引き出されたテープ状清掃材を前記縁部に押しつける押圧子と、使用後のテープ状清掃材を巻き取る巻き取りリールと、この巻き取りリールを回転駆動する巻き取り駆動手段と、巻き取りリールによるテープ状清掃材の巻き取り力の上限値を規定する巻き取り力規定手段と、前記ガラス基板を保持する保持手段と、この保持手段を前記押圧子に対して相対的に移動させる移動手段とを備え、この移動手段によって前記保持手段を前記テープ状清掃材の送り方向に対して垂直方向に相対的に水平移動させることにより前記表面付着物を除去するようにし、また前記押圧子を上下に一対備え、この一対の押圧子を開閉駆動するチャック機構を設け、且つ前記チャック機構を所定の高さ位置に弾性的に支持するチャック支持手段を備え、前記チャック機構がガイドレールとスライダにより上下方向に移動可能に保持され、また前記チャック支持手段が、一端を固定ブロックに片持ち固定された板バネ部材と、この板バネ部材の自由端を水平方向の相対的変位を拘束することなく上下から挟持する上下一対のローラから成ることを特徴とするガラス基板のクリーニング装置。
IPC (2件)：
G09F 9/00 ( 200 6.01) ,  B08B 1/00 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G09F 9/00 338 ,  B08B 1/00
引用特許：
審査官引用 (11件)
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