熱処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-150100
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343779
特許番号：特許第4569042号
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】処理容器の天井部に展開可能に設けた天井蓋に設けたシャワーヘッド部から処理ガスを供給しつつ載置台上に設置した被処理体に対して所定の熱処理を施す熱処理装置において、前記シャワーヘッド部の外周側に、前記載置台に対する天井面の凹凸の形態を改善するために、下面が、前記シャワーヘッド部の下面と、同一水平レベルに設定され且つ、前記シャワーヘッド部の外周側の領域を空間として維持するような形態改良部材を、前記天井蓋の展開に必要な隙間を除いて前記シャワーヘッド部の側壁と前記処理容器の側壁との間の全域に亘って設けるように構成したことを特徴とする熱処理装置。

IPC (2件)：