特許
J-GLOBAL ID：200903046525869798

枚葉式熱処理装置

発明者：
大加瀬 亘

大加瀬 亘 について

, 
高鍋 英一郎

高鍋 英一郎 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-207327
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035799
出願日： 1999年07月22日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 処理室内の腐食および被処理体の汚染を防止する。【解決手段】 処理室1内に被処理体wを載置して加熱するサセプタ4を設け、該サセプタ4と対向して処理ガスを供給するシャワーヘッド5を設け、前記処理室1の底部側に処理室1内を減圧排気するための排気部9を設けてなる枚葉式熱処理装置において、前記処理室1の少なくとも内面を石英により形成すると共に、底部側隅部を流線形13に形成した。
請求項（抜粋）：
処理室内に被処理体を載置して加熱するサセプタを設け、該サセプタと対向して処理ガスを供給するシャワーヘッドを設け、前記処理室の底部側に処理室内を減圧排気するための排気部を設けてなる枚葉式熱処理装置において、前記処理室の少なくとも内面を石英により形成すると共に、底部側隅部を流線形に形成したことを特徴とする枚葉式熱処理装置。
IPC (8件)：
H01L 21/205 ,  C23C 16/44 ,  F27B 5/14 ,  F27B 5/16 ,  F27B 5/18 ,  F27D 7/02 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/324
FI (9件)：
H01L 21/205 ,  C23C 16/44 B ,  F27B 5/14 ,  F27B 5/16 ,  F27B 5/18 ,  F27D 7/02 A ,  H01L 21/22 501 H ,  H01L 21/324 G ,  H01L 21/324 R
Fターム (47件)：
4K030CA12 ,  4K030DA09 ,  4K030EA04 ,  4K030EA11 ,  4K030GA02 ,  4K030KA09 ,  4K030KA22 ,  4K030KA46 ,  4K061AA01 ,  4K061BA11 ,  4K061CA08 ,  4K061CA17 ,  4K061DA00 ,  4K061DA05 ,  4K061FA07 ,  4K061FA12 ,  4K061GA02 ,  4K061GA04 ,  4K063AA05 ,  4K063BA12 ,  4K063CA03 ,  4K063DA12 ,  4K063DA14 ,  4K063DA15 ,  4K063DA33 ,  4K063FA02 ,  4K063FA13 ,  5F045AA06 ,  5F045AB31 ,  5F045BB02 ,  5F045BB14 ,  5F045BB15 ,  5F045DP03 ,  5F045EB02 ,  5F045EB08 ,  5F045EC05 ,  5F045EE02 ,  5F045EE04 ,  5F045EE07 ,  5F045EF05 ,  5F045EF11 ,  5F045EF20 ,  5F045EK07 ,  5F045EK14 ,  5F045EM02 ,  5F045EM09 ,  5F045EN04
引用特許：
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (9件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM